Микрошероховатые плоские автоэмиссионные катоды из графита, полученные радиационным способом
Суворов А.Л.1, Шешин Е.П.1, Протасенко В.В.1, Лазарев Н.Е.1, Бобков А.Ф.1, Бабаев В.П.1
1Институт теоретической и экспериментальной физики, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1996 г.
Предложен и реализован способ получения плоских протяженных автоэлектронных катодов из графита за счет облучения исходно отшлифованной поверхности ионами средних энергий. Показано, что наиболее эффективно для этих целей использование тяжелых ионов газов с энергиями в пределах 50-200 кэВ при интенсивности облучения 1014 ионов/см2 · с и флюенсе 1017-1018 ионов/см2. Указанные параметры облучения обеспечивают относительно высокие коэффициенты распыления по механизму образования каскадов атомных смещений и создание в результате этого существенно развитой (испещренной) поверхности. Проведенный анализ получаемой рабочей поверхности автокатодов в сканирующем туннельном микроскопе выявил образование эмиссионных центров со средней кривизной поверхности в пределах 10-100 нм и плотностью 108 см-2. Получены вольт-амперные и другие характеристики катодов. Проанализирована перспектива использования указанных катодов в приборах и устройствах на основе автоэлектронной эмиссии, в частности в эффективных источниках света.
- Brodie I., Spindt C. Adv. Electr. Phys. 1992. Vol. 83. P. 1--113
- Gray H.F. Proc. 29^ th Intern. Field Emission Symp. 1982. P. 11--112
- Grand-Clement J.-L. VI Intern. Vacuum Microelectr. Conf. Newport (USA), 1993. P. 3--4.
- Mitterauer J. Surf. Sci. 1991. Vol. 246. P. 107--112
- Kondo Y., Matsuma J., Kimura H. IV Intern. Vacuum Microelectr. Conf. Nagahama (Japan), 1991. P. 56--67
- Sheshin E.P., Suvorov A.L., Grigoriev Yu.A., Shesterkin V.I. VI Intern. Vacuum Microelectr. Conf. Newport (USA), 1993. P. 117--118
- Chachovskoi A.G., Sheshin E.P., Kupryashkin A.S., Seleverston V.A. J. Vac. Sci. Technol. 1993. Vol. B11. P. 511--514
- Sheshin E.P., Suvorov A.L., Bobkov A.F. et al. Le Vide, les Couches Minces. Suppl. au N 271. 1994. P. 423--426
- Суворов А.Л. Структура и свойства поверхностных атомных слоев металлов. М.: Энергоатомиздат, 1990. 296 с
- Долин Д.Е., Сосунов А.А., Суворов А.Л., Шешин Е.П. ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 12. С. 115--121
- Свойства углеродных конструкционных материалов. Справочник / Под ред. В.П. Соседова. М.: Металлургия, 1975. 175 с
- Кирсанов В.В., Суворов А.Л., Трушин Ю.В. Процессы радиационного дефектообразования в металлах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 272 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук