Исследованы особенности процессов роста эпитаксиальных слоев на движущуюся относительно расплава подложку. Определены зависимости толщины слоя от времени роста при различных формах ростовых ячеек и различных скоростях движения подложки. Предложена модель и сделаны оценки влияния внутренних потоков в расплаве на условия роста эпитаксиальных слоев при движении подложки.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.