Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах
Анисимкин В.И.1, Максимов С.А.2, Пенза М.3, Васанелли Л.4
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
3Исследовательский центр электронных материалов, Бриндизи, Италия
4Институт электронных материалов, СНИ и университет Лече, Италия
Поступила в редакцию: 21 сентября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.
Линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ), не содержащие газочувствительных покрытий, применены в качестве термодатчиков для термокондуктометрической регистрации газов и газовых потоков. В линейном приближении проанализирована вынужденная конвекция 13 газов в пренебрежении их взаимодействием с окружающей средой. Детектирование H2, He, Ar, CH4, NH3, N2, O2 проведено с использованием линий задержки на кварце, LiNbO3, Bi12GeO20, Bi12SiO20 на частотах f=21-263 МГц, при температурах T=25-165oC. Измерены зависимости ПАВ "отклика" от концентрации газов n, скорости потока U, температурного коэффициента скорости ПАВ (ТКС) и рабочей температуры Tp. Продемонстрирована возможность управления величиной газового "отклика" и обеспечения селективности выбором ТКС и Tp. Пороговые концентрации газов составили 0.35 % для CH4 и 0.1 % для H2 и NH3 в азоте. Получена линейность "отклика" в диапазоне U=20-200 мл/мин.
- Hoummady M., Hauden D. // Sensors and Actuators. 1994. Vol. A44. P. 177-182
- Joshi S.G. // Sensors and Actuators. 1994. Vol. A44. P. 191-197
- Rebiere D., Dejous C., Pistre J. et al. // Sensors and Actuators. 1994. Vol. A41--42. P. 384--388
- Joshi S.G. // IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control. 1991. Vol. 38. P. 148--154
- Основы теплопередачи в авиационной и ракетной космической технике / Под ред. В.К. Кошкина. М.: Машиностроение, 1975. 623 с
- Walsh P.T., Jones T.A. // Sensors / Ed. by W. Gopel, H. Hesse, J.N. Zemel. New York; Basel; Cambridge, 1991. Vol. 2. Chemical and Biochemical Sensors. Pt 1. P. 529--570
- Symons E.A. // Gas Sensors / Ed. by G. Sberveglieri. Dorrecht; Boston; London: Kluwer Acad. Publishers, 1992. P. 169--185
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.