Формирование многослойных упругонапряженных гетерокомпозиций методом жидкофазной эпитаксии I. Теоретические аспекты проблемы и расчетная модель
Акчурин Р.Х.1, Комаров Д.В.2
1Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М.В.Ломоносова, Москва, Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 13 июля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.
Проанализированы проблемы формирования многослойных упругонапряженных гетерокомпозиций методом "капиллярной" жидкофазной эпитаксии с принудительной гидравлической сменой растворов в ростовом канале. Показано, что при малых временах контакта растворов с поверхностью кристаллизации характер их течения в канале играет важную роль в достижении однородности физических характеристик наращиваемых слоев. На примере ряда систем АIII-BV произведены расчетные оценки гидродинамической устойчивости растворов при движении в тонких каналах. Разработана расчетная модель, позволяющая моделировать условия создания упругонапряженных гетерокомпозиций. Она включает в себя учет диффузионного и конвективного массопереноса в жидкости при различных режимах ее течения в капилляре и эффекта смещения гетерогенных равновесий в системе под влиянием упругих напряжений.
- Osborn G.S. // J. Vac. Sci. Technol. 1984. Vol. 2. N 2. P. 176--178
- Kuo C.P., Vong S.K., Cohen R.M. et al. // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57. N 12. P. 5428--5432
- Kurtz S.R., Biefeld R.M., Dawson L.R. et al. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 53. N 20. P. 1961--1963
- Алферов Ж.И., Андреев В.М., Воднев А.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. Вып. 18. С. 1089--1093
- Андреев В.М., Ивентьева О.О., Конников С.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12, Вып. 9. С. 533--537
- Айтиева Г.Т., Бессолов В.Н., Денисова А.Т. и др.// ЖТФ. 1986. Т. 56. Вып. 5. С. 910--913
- Полежаев В.И., Бунэ А.В., Верезуб Н.А. и др. Математическое моделирование конвективного тепло-массообмена на основе уравнений Навье--Стокса. М.: Наука, 1987. 270 с
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М.: Металлургия, 1983, 224 с
- Гидродинамика межфазных поверхностей (сб. статей). М.: Мир, 1984, 210 с
- Кирпиков В.А., Шорин Г.Н. Введение в теорию пограничного слоя. М.: МИХМ, 1974. 285 с
- Гершуни Г.З., Жуховицкий Е.М. Конвективная устойчивость несжимаемой жидкости. М.: Наука, 1972. 392 c
- Landolt-Bornstein. New Series. Berlin: Springer Verlag, 1984. Vol. 17d
- Jordan A.S., Ilegems M. // J. Phys. Chem. Sol. 1975. Vol. 36. N 4. P. 329--342
- Кузнецов В.В., Москвин П.П., Сорокин В.С. Неравновесные явления при жидкостной гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов. М.: Металлургия, 1991. 175 с
- Математические модели, аналитические и численные методы в теории переноса (сб. научн. тр.) / Под ред. А.А.Самарского. Минск: Изд-во АН БССР, 1982. 173 с
- Годунов С.К., Рябенький В.С. Разностные схемы. Введение в теорию. М.: Наука, 1977. 439 с
- Турчак Л.И. Основы численных методов. М.: Наука, 1987. 318 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук