Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1997, выпуск 7 » Статья стр. 137
<<<>>>
Влияние состояния объема образца на образование и термостабильность поверхностного силицида на (100) W
Галль Н.Р.1, Рутьков Е.В.1, Тонтегоде А.Я.1, Усуфов М.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.
PDF версия
С помощью оже-электронной спектроскопии высокого разрешения изучено образование и разрушение поверхностного силицида на (100) W при различных режимах очистки поверхности и объема образца. Показано, что степень очистки объема практически не влияет на закономерности формирования ПС при адсорбции атомов Si на нагретой поверхности W, причем почти вплоть до завершения этого формирования все поступающие на поверхность атомы кремния, начиная с самых первых, остаются на ней, встраиваясь в ПС. Разрушение ПС определяющим образом зависит от состояния объема и при T=1400 K на ранних стадиях, видимо, лимитируется переходом атомов Si с поверхности в подповерхностный слой, а на последующих стадиях диффузией кремния внутрь подложки. Сделаны оценки объемной концентрации кремния, лимитирующей разрушение ПС.
  1. Агеев В.Н., Афанасьева Е.Ю., Галль Н.Р. и др. // Поверхность. 1987. N 5. С. 7--14
  2. Галль Н.Р., Рутьков Е.В., Тонтегоде А.Я. // ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 4. С. 125--130
  3. Галль Н.Р., Рутьков Е.В., Тонтегоде А.Я. // Поверхность. 1989. N 10. С. 47--53
  4. Gall N.R., Rut'kov E.V., Tontegode A.Ya., Usufov M.M. // Phys. Low Dimensional Structures. 1994. Vol. 9
  5. Gall N.R., Rut'kov E.V., Tontegode A.Ya., Usufov M.M. // Phys. Low Dimensional Structures. 1996. In press
  6. Bermudes V.M. // Surf. Sci. Lett. 1990. Vol. 230. P. L155--L161
  7. Bonzel H.P., Franken A.M., Paris C. // Surf. Sci. 1981. Vol 104. P. 625--642
  8. Gall N.R., Mikhailov S.N., Rut'kov E.V., Tontegode A.Ya. // Surf. Sci. 1987. Vol. 191. P. 185--202
  9. Агеев В.Н., Афанасьева Е.Ю., Галль Н.Р. и др. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. Вып. 9. С. 565--570
  10. Rut'kov E.V., Tontegode A.Ya., Usufov M.M., Gall M.R. // Appl. Surf. Sci. 1994. Vol. 78. P. 179--184
  11. Rut'kov E.V., Tontegode A.Ya., Usufov M.M., Gall N.R. // Appl. Surf. Sci. 1996. In press
  12. Галль Н.Р., Рутьков Е.В., Тонтегоде А.Я., Усуфов М.М. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 5. С. 143--150
  13. Фоменко В.С. Эмиссионные свойства материалов. Справочник. Киев: Наукова думка, 1980. 380 с
  14. Агеев В.Н., Афанасьева Е.Ю. // Поверхность. 1987. N 7. С. 30--37
  15. Самсонов В.Г., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения. Справочник. М.: Металлургия, 1976. С. 232--240
  16. Розенберг Р., Салливан М., Говард Дж. // Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под. ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Маейера. М.: Мир, 1982. С. 17--58
  17. Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Мир, 1978. С. 55

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme