Моделирование процесса низкотемпературного получения газочувствительных пленок оксида олова
Кисин В.В.1, Ворошилов С.А.1, Сысоев В.В.1, Симаков В.В.1
1Саратовский государственный технический университет, Саратов, Россия Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 24 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.
Рассмотрен процесс осаждения пленок оксида олова методом реактивного распыления стехиометрической мишени. Установлены условия, при которых можно сформировать кристаллическую структуру слоя и получить газочувствительность без последующего высокотемпературного отжига.
- Fang Y.K., Lee J.J. // Thin Solid Films. 1989. Vol. 169. P. 51--56
- Williams G., Coles G. // Sensors and Actuators. 1995. Vol. B24-25. P. 469--473
- Huang J.-L., Kuo D.-W., Shew B.-Y. // Surf. and Coat. Technol. 1996. Vol. 79. P. 263--267
- Kaciulis S., Mattogno G., Galdikas A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. N 6. P. 3164--3168
- Di Giulio M., Serra A., Tepore A. et al. // Mater. Sci. Forum. 1996. Vol. 203. P. 143--148
- Andreev S.K., Popova L.I., Gueorguiev V.K., Manolov E.B. // Vacuum. 1996. Vol. 47. N 11. P. 1325--1328
- Kisin V.V., Sysoev V.V., Simakov V.V., Voroshilov S.A. // Proc. of 10th Europ. Conf. on Solid State Transducers "Eurosensors X". Leuven (Belgium), 1996. Vol. 3. P. 977--980
- Кисин В.В., Ворошилов С.А., Сысоев В.В., Симаков В.В. // ПТЭ. 1995. N 5. С. 178--181
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук