О механизме взрывного травления пленки полиамидокислоты в неравновесной кислородной плазме
Амиров И.И.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
Описан эффект взрывного ускорения процесса травления пленки полиамидокислоты в кислородной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления (P=0.2 Pa). Величина пика скорости травления зависела от энергии бомбардирующих ионов и толщины пленки. Взрывная кинетика травления пленки полиамидокислоты обусловлена протеканием в ее объеме реакции циклодегидратации, в результате которой она превращается в полиимидную пленку. Процесс имидизации в свою очередь ускоряется из-за нагрева образца, обусловленного протеканием на поверхности экзотермических реакций окисления. Таким образом, между двумя реакциями существует положительная обратная связь, что приводит к развитию ионно-инициированного цепного процесса травления и имидизации пленки полиамидокислоты.
- Hartney M.A., Hess D.W., Soane D.S. // J. Vac. Sci. Technol. 1989. Vol. B7. N 1. P. 1-13
- Baggerman J.A.G., Visser R.J., Collart J.H. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. N 2. P. 758--768
- Collart J.H., Baggerman J.A.G., Visser R.J. // J. Appl. Phys. 1995. Vol. 78. N 1. P. 47--54
- Амиров И.И., Буяновская П.Г. // Химия высоких энергий. 1998. Т. 32. N 5. С. 422--423
- Амиров И.И., Бредников А.Е., Изюмов М.О. // Микроэлектроника. 1998. Т. 27. N 1. P. 22--27
- Андронова Н.А., Бессонов М.И., Лаус Л.А., Рудаков А.П. Полиимиды --- новый класс термостойких полимеров. Л.: Наука, 1968. 221 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук