Нарушение распределения Больцмана для плотности электронов плазмы в двухкамерных ICP-разрядах
Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Очикова З.Н., Чирцов А.С.1
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: akud@ak2138.spb.edu
Поступила в редакцию: 2 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.
На примере ICP-разрядов установлено, что в двухкамерных конструкциях, в которых возможен сильный градиент температуры электронов, классическое распределение Больцмана для концентрации электронов не имеет места даже на качественном уровне, в то время как более общее распределение для плотности энергии электронов (extended Boltzmann distribution) выполняется с удовлетворительной точностью.
- Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. // Principles of Plasma Discharges and Material Processing. NY: Wiley, 2005
- Rozhansky V.A., Tsendin L.D. // Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London; NY: Taylor \& Francis, 2001
- Kudryavtsev A.A., Serditov K.Yu. // Phys. Plasmas. 2012. Vol. 19. N 7. P. 073 504
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.