Вышедшие номера
Особенности магнетронного напыления эпитаксиальных пленок YBCO для применений в устройствах сверхпроводниковой электроники
Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Юнин П.А.1,2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 5 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Обсуждены основные факторы, определяющие процесс роста эпитаксиальных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta при магнетронном напылении в планарной осевой геометрии. Особое внимание уделено вопросу повышения скорости роста пленок, пригодных для применения в устройствах сверхпроводниковой электроники. Методом магнетронного напыления получены пленки YBa2Cu3O7-delta с высокими структурными и электрофизическими характеристиками при скорости роста до 200 nm/h, которые были использованы для создания дисковых СВЧ резонаторов и длинных джозефсоновских переходов на бикристаллических подложках. Величина собственной добротности резонаторов превышает 80 000 на частоте 7.1 GHz при температуре 77 K, что соответствует лучшим результатам в этой области. Джозефсоновские переходы длиной 50 - 350 mum характеризуются значением плотности критического тока jc = 12 - 33 kA/cm2 для температуры T = 77 K и jc = 93 - 230 kA/cm2 для температуры T = 6 K при нулевом магнитном поле. Величина характерного напряжения IcRn составляет 0.8-1.96 mV.