Коротковолновый дифференциальный фотоприемник на основе кремния
Министерство образования и науки Российской Федераци, Базовая часть госзадания, 1755
Гаврушко В.В.1, Ионов А.С.1, Кадриев О.Р.1, Ласткин В.А.1
1Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия
Email: Valery.Gavrushko@novsu.ru
Поступила в редакцию: 9 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 января 2017 г.
Описан фотоприeмник на основе кремния, содержащий два одинаковых по площади n+-p-фотодиода. Один из фотодиодов имел широкую спектральную характеристику с высокой чувствительностью в ультрафиолетовой области. Чувствительность второго была снижена в коротковолновой части спектра путем создания дополнительных рекомбинационных центров в приповерхностной области методом имплантации ионов As. Исследование спектральной чувствительности дифференциального сигнала, полученного вычитанием фототоков, установило ярко выраженную коротковолновую спектральную характеристику. Границы спектрального диапазона по уровню lambda0.5 находились в пределах 0.27-0.44 mum. Максимум чувствительности соответствовал lambdamax=0.36 mum. Чувствительность дифференциального канала на этой длине волны достигала 83% от чувствительности широкодиапазонного канала. DOI: 10.21883/JTF.2017.02.44144.1752
- Патент US N 7196311. H01L 27/15 от 11.08.2005
- Патент BY 8532 U. H01L 27/15 от 30.08.2012
- Гольтберг Ю.А., Царенков Б.В. //ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 8. С. 195-197
- Гаврушко В.В, Ионов А.С., Ласткин В.А. // Датчики и cистемы. 2009. N 6 (121). С. 49-51
- Горшков А.П., Карпович И.А., Павлова Е.Д., Волкова Н.С. ФТП. 2012. Т. 46. Вып. 12. С. 1542-1545
- Патент RU N 156627. H01L 31/068 от 05.05.2015
- Гаврушко В.В., Ласткин В.А. // Вестник НовГУ. 2014. N 81. С. 53-55
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.