Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2019, выпуск 9 » Статья стр. 1412
<<<>>>
Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка
DOI: 10.21883/JTF.2019.09.48068.43-19
Переводная версия: 10.1134/S1063784219090123
Орехова К.Н. 1, Серов Ю.М.1, Дементьев П.А.1, Иванова Е.В.1, Кравец В.А.1, Усачева В.П.1, Заморянская М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: orekhova.kseniia@gmail.com
Поступила в редакцию: 7 февраля 2019 г.
В окончательной редакции: 19 марта 2019 г.
Принята к печати: 27 марта 2019 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2019 г.
PDF версия
При исследовании материалов на электронно-зондовых приборах в области действия электронного пучка формируется контаминационная углеводородная пленка, которая оказывает влияние на результаты экспериментов. В настоящей работе исследовано влияние контаминационной пленки, сформированной на диэлектрических образцах с углеродным напылением, на интенсивность катодолюминесценции и рентгеновских характеристических линий излучения. Определен коэффициент поглощения пленки для видимого и УФ диапазонов. Обсуждается механизм формирования пленки при различных параметрах электронного пучка. Ключевые слова: контаминация, углеводородная пленка, РЭМ, катодолюминесцентный, рентгеноспектральный микроанализ.
  1. Bance U.R., Drummond I.W., Finbow D., Harden E.H., Kenway P. // Vacuum. 1978. Vol. 28. P. 489--496
  2. Love G., Scott V.D., Dennis N.M.T., Laurenson L. // Scanning. 1981. Vol. 4. N 32
  3. Ларионов Ю.В., Митюхляев В.Б., Филиппов М.Н. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2008. N 9. С. 53--64. [ Larionov Yu.V., Mityukhlyaev V.B., Filippov M.N. // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2008. N 2. P. 727--737. DOI: 10.1134/S102745100805011X]
  4. Wendt M. // Kristall und Technik. 1980. N 13. P. 1259
  5. Conru H.W., Laberge P.C. // J. Phys. E: Scientific Instruments. 1975. Vol. 8. N 2. P. 136--138
  6. Bret T., Mauron S., Utke I., Hoffmann P. // Microelectronic Engineering. 2005. Vol. 78--79. P. 300--306. DOI: 10.1016/j.mee.2005.01.006
  7. Ларионов Ю.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. N 11. С. 51--60. DOI: 10.7868/S0207352814090121 [ Larionov Yu.V. // J. Surf. Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2014. N 8. P. 1137--1145. DOI: 10.1134/S1027451014050127]
  8. Гуляева К.Н., Трофимов А.Н., Заморянская М.В. // Опт. и спектр. 2013. Т. 114. N 5. С. 773--776. DOI: 10.7868/S0030403413050061[ [ Gulyaeva K.N., Trofimov A.N., Zamoryanskaya M.V. // Opt. and Spectr. 2013, Vol. 114. N 5. P. 709--712. DOI: 10.1134/S0030400X13050056]
  9. Блохин М.А., Швейцер И.Г. // Рентгеноспектральный справочник. М.: Наука, 1982. 374 с
  10. Orekhova K.N., Tomala R., Hreniak D., Strek W., Zamoryanskaya M.V. // Optical Materials. 2017. Vol. 74. С. 170--175. DOI: 10.1016/j.optmat.2017.02.027
  11. Reimer L. // Transmission Electron Microscopy. Berlin: Springer. 1997. 584 с
  12. Muller K.H. // Optik (Stuttgart). 1971. Vol. 33. P. 296--311
  13. Местер А.Ю., Трофимов А.Н., Заморянская М.В.,. Дьяконов А.М. // ЖТФ. 2014. Т. 84. Вып. 10. С. 117--121.[ Mester A.Yu, Trofimov A.N., Zamoryanskaya M.V., D'yakonov A.M. // Tech. Phys. 2014. Vol. 59. N 10. P. 1536--1539. DOI: 10.1134/S1063784214100211]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme