Исследованы оптические, механические и термические свойства свободновисящих пленочных структур на основе азотированных силицидов молибдена и циркония. Показано, что азотирование силицидов приводит к существенному повышению термической стойкости пленок. Так, если кристаллизация изначально аморфных пленок MoSi₂ или ZrSi₂ наблюдалась при температурах 330-370^oC, то введение азота в пленку позволило повысить температуру, при которой возможна многочасовая эксплуатация MoSi₂N_x и ZrSi₂N_y пленок при нагреве в вакуумных условиях, до 600-700^oC (по крайней мере при x≥0.25, y≥1.3). Исследование механической прочности на разрыв показало, что предельная прочность слабо зависит от содержания азота в пленках MoSi₂N_x (0≤ x≤0.55). Сравнение свойств пленок MoSi₂N_x и ZrSi₂N_y, полученных магнетронным способом при одинаковом парциальном давлении азота, продемонстрировало, что при близких значениях коэффициента пропускания на длине волны 13.5 nm азотированные пленки ZrSi₂ более эффективны в качестве защитных покрытий (менее подвержены окислению и более устойчивы к деградации при высоких температурах). Ключевые слова: свободновисящие пленочные структуры, азотированные пленки силицидов молибдена и циркония, термическая стойкость, прочность на разрыв.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.