Возможности метода задающей маски для исследования характеристик планарных ВТСП-структур в зависимости от толщины сверхпроводящей пленки
Министерство науки и высшего образования России , ГЗ 0035-2019-0024-C-01
Мастеров Д.В.
1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур РАН --- филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, pavlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru, yunin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 сентября 2019 г.
В окончательной редакции: 18 марта 2020 г.
Принята к печати: 19 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 10 июня 2020 г.
В отличие от традиционных методов создания планарных сверхпроводящих структур на основе пленок YBCO, в которых для формирования топологии используется травление или ионная имплантация, в методе задающей маски (ЗМ) топология задается на начальном этапе процесса изготовления структуры, при формировании ЗМ, а осаждение YBCO является его завершающим этапом. В окнах ЗМ образуются сверхпроводящие элементы структуры, а между ними - изолирующие области. Зафиксировав топологию сверхпроводящих мостиков на этапе формирования ЗМ, измерены их характеристики в зависимости от толщины пленки YBCO, последовательно проводя циклы осаждения. После каждого осаждения YBCO проводились измерения структурных параметров пленки, а также критических температуры и тока на мостиках, в том числе на мостиках с джозефсоновскими контактами, сформированными на бикристаллической подложке. Ключевые слова: пленки YBCO, задающая маска, планарные ВТСП структуры, джозефсоновские контакты.
- Malnou M., Feuillet-Palma C., Ulysse C., Faini G., Febvre P., Sirena M., Olanier L., Lesueur J., Bergeal N. // J. Appl. Phys. 2014. Vol. 116. N 7. P. 074505 (1--11). DOI: 10.1063/1.4892940
- Pedarnig J.D., Bodea M.A., Steiger B., Markowitsch W., Lang W. // Phys. Proc. 2012. Vol. 36. P. 508--513. DOI: 10.1016/j.phpro.2012.06.075
- Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Ревин Л.С., Панкратов А.Л. Патент РФ на полезную модель N 188983. Б.И. 2019. N 13. http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips\_servlet?DB=RUPM \&DocNumber=188983\&TypeFile=html
- Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин A.Е., Скороходов Е.В., Юнин П.А. // ФТТ. 2018. Т. 60. Вып. 11. С. 2100--2104. DOI: 10.21883/FTT.2018.11.46646.29NN [ Masterov D.V., Pavlov S.A., Parafin A. E., Skorokhodov E.V., Yunin P.A. // Phys. Solid State. 2018. Vol. 60. N 11. P. 2139--2144. DOI: 10.1134/S1063783418110215]
- Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Юнин П.А. // ЖТФ. 2015. Т. 85. Вып. 11. С. 109--116. [ Drozdov Yu.N., Masterov D.V., Pavlov S.A., Parafin A.E., Yunin P.A. // Tech. Phys. 2015. Vol. 60. N 11. P. 1682--1688. DOI: 10.1134/S1063784215110080]
- Hilgenkamp H., Mannhart J. // Rev. Mod. Phys. 2002. Vol. 74. N 2. P. 485--549. DOI: 10.1103/RevModPhys.74.485
- Ivanov Z.G., Nilsson P.A., Winkler D., Alarco J.A., Claeson T., Stepantsov E.A., Tzalenchuk A.Ya. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. P. 3030--3032. DOI: 10.1063/1.105783
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
