Вышедшие номера
Возможности метода задающей маски для исследования характеристик планарных ВТСП-структур в зависимости от толщины сверхпроводящей пленки
Переводная версия: 10.1134/S106378422010014X
Министерство науки и высшего образования России , ГЗ 0035-2019-0024-C-01
Мастеров Д.В. 1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур РАН --- филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, pavlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru, yunin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 сентября 2019 г.
В окончательной редакции: 18 марта 2020 г.
Принята к печати: 19 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 10 июня 2020 г.

В отличие от традиционных методов создания планарных сверхпроводящих структур на основе пленок YBCO, в которых для формирования топологии используется травление или ионная имплантация, в методе задающей маски (ЗМ) топология задается на начальном этапе процесса изготовления структуры, при формировании ЗМ, а осаждение YBCO является его завершающим этапом. В окнах ЗМ образуются сверхпроводящие элементы структуры, а между ними - изолирующие области. Зафиксировав топологию сверхпроводящих мостиков на этапе формирования ЗМ, измерены их характеристики в зависимости от толщины пленки YBCO, последовательно проводя циклы осаждения. После каждого осаждения YBCO проводились измерения структурных параметров пленки, а также критических температуры и тока на мостиках, в том числе на мостиках с джозефсоновскими контактами, сформированными на бикристаллической подложке. Ключевые слова: пленки YBCO, задающая маска, планарные ВТСП структуры, джозефсоновские контакты.