Рассмотрена методика исследования изменения сложного рельефа и формы структур с использованием подходов геоморфометрии для изучения поверхности пластин и сформированных Bosch-процессом мембран. Проанализированы пластины до и после нанесения слоя SiO₂, мембраны при реализации метода выдувания. Исследование изменения рельефа поверхности проведено по картам водосборной площади и главных кривизн с учетом артефактов аппроксимации экспериментальных данных. Обнаружено соответствие между распределением линий, соединяющих наивысшие области поверхности - до и после нанесения слоя SiO₂ на пластины. На мембранах со структурами Al(0.8 μm)/SiO₂(0.6 μm)/Al(1.1 μm), pSi^*(0.8 μm)/SiN_x(0.13 μm)/SiO₂, Al(0.6 μm) обнаружено, что особенности границы мембран обусловлены в большей степени их начальной формой, чем изменением под действием приложенной нагрузки. Показаны преимущества методов геоморфометрии для исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран в технологических процессах производства микроэлектронных приборов по сравнению с традиционными методами анализа карт рельефа поверхности. Ключевые слова: тонкие пленки, мембрана, дефект, механические характеристики, механические напряжения, деформация, прогиб, микроэлектромеханические системы, МЭМС, круглая мембрана, кремниевая подложка, оптическая профилометрия, избыточное давление, геоморфометрия, гауссова кривизна, коробление, главные кривизны, пластина, метод выдувания, цифровое моделирование рельефа, ЦМР, поверхность, рельеф.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.