Новая методика термопластического изгиба стекла для изготовления цилиндрических поверхностей зеркал жесткого рентгеновского диапазона
Российский научный фонд, 21-72-30029
Ахсахалян А.А.1, Ахсахалян А.Д.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: akh@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 11 мая 2022 г.
Принята к печати: 11 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Представлена новая методика термопластического изгиба стекла, позволяющая изготавливать цилиндрические поверхности с направляющей в форме параболы, эллипса и т. д., для зеркал жесткого рентгеновского диапазона длин волн (λ~0.1 nm). По этой методике изготовлено три образца поверхности эллиптического цилиндра. Время изготовления каждого образца составило два дня. Отклонение направляющей и ее локального угла от расчетных значений для всех образцов не превышает Delta y=0.5 μm и Deltaα=7·10-5 rad соответственно. Показано, что при травлении таких поверхностей в течение 2 h их точность можно улучшить более чем на два порядка (Delta y=2 nm, Deltaα=5·10-7 rad). Ключевые слова: фокусирующие рентгеновские зеркала, цилиндрические зеркала, многослойные структуры.
- M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28, 270 (1995)
- M. Schuster, H. Gobel. Adv. X-Ray Anal., 39, 57 (1996)
- P.F. Fuster. X-Ray Scattering from Semiconductors (Imperial College Press, London, 2000)
- Ю.Н. Дроздов, А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, Л.А. Мазо, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 5, 33 (2005)
- А.Д. Ахсахалян, Б.А. Володин, Е.Б. Клюенков, В.А.Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов, Е.А. Шамов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 112 (2000)
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, В.А. Муравьев, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 51 (2002)
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Д.Г. Волгунов, С.В. Гапонов, Н.А. Короткова, Л.А. Мазо, В.Л. Миронов, В.А. Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 78 (2003)
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, В.А. Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Известия РАН. Сер. физическая, 69 (2), 174 (2005)
- A.A. Akhsakhalyan, A.D. Akhsakhalyan, A.I. Kharitonov, E.B. Kluenkov, V.A. Murav'ev, N.N. Salashchenko. Central Europ. J. Physics. CEJP, 3 (2), 163 (2005)
- M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.A. E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Optics, 55 (6), 1249 (2016), DOI: 10.1364/AO.55.001249
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, Е.Б. Клюенков, А.И. Каськов, М.И. Кузнецов, И.М. Нефедов, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Известия РАН. Сер. физическая, 76 (2), 196 (2012)
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, Е.Б. Клюенков, М.И. Кузнецов, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 6, 28 (2012)
- Д.В. Сивухин. Общий курс физики (Наука, М., 1974), т. 1
- А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 7, 93 (2015)
- А.Д. Ахсахалян, И.М. Нефедов. Труды XVIII Междунар. симпозиума Нанофизика и наноэлектроника" (Нижний Новгород, Россия, 2014), с. 289
- А.Д. Ахсахалян, Н.Н. Салащенко. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 10, 3 (2019)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.