Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 8 » Статья стр. 1130
<<<>>>
Поиск прочных многослойных композиций свободновисящих фильтров с высоким коэффициентом пропускания в диапазоне длин волн "водного окна" (2.3-4.4 nm)
DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52773.126-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54555.126-22
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ)
Барышева М.М.1, Гарахин С.А.1, Лопатин А.Я.1, Лучин В.И.1, Малышев И.В.1, Салащенко Н.Н.1, Цыбин Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: mmbarysheva@ipmras.ru, garahins@ipmras.ru, lopatin@ipmras.ru, luchin@ipmras.ru, ilya-malyshev@ipmras.ru, salashch@ipmras.ru, tsybin@ipmras.ru, chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 11 мая 2022 г.
Принята к печати: 11 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
PDF версия
Рассмотрены варианты состава многослойных абсорбционных фильтров с высоким коэффициентом пропускания в спектральной области "водного окна" (2.3-4.4 nm). Методом создания перепада давления между сторонами свободновисящих пленок на разрыв проведено сравнение по прочности фильтров с толщинами около 100 nm на основе Ti с прослойками из Al, Be, C и на основе V с прослойками из Al. В качестве материала для прослоек рассматривались также Sc и Cr. Среди протестированных многослойных периодических структур наилучшие прочностные характеристики продемонстрировали Ti/Be (при доле Ti в периоде около 0.6) и V/Al (при доле V в периоде около 0.4) фильтры. Несмотря на то что по прочности Ti/Be- и V/Al-фильтры уступают фильтрам из однослойных пленок Ti и V, эти многослойные фильтры могут представлять интерес, так как обладают либо большим коэффициентом пропускания в "окне прозрачности воды" (Ti/Be), либо существенно более высоким уровнем блокировки видимого излучения (V/Al). Ключевые слова: многослойные свободновисящие фильтры, спектральная область "водного окна", прочность на разрыв многослойных пленочных фильтров, коэффициент пропускания в мягком рентгеновском диапазоне, уровень блокировки видимого излучения.
  1. M. Kordel, A. Dehlinger, C. Seim, U. Vogt, E. Fogelqvist, J.A. Sellberg, H. Stiel, H.M. Hertz. Optica, 7 (6), 658 (2020). DOI: 10.1364/OPTICA.393014
  2. C. Jacobsen. Trends in Cell Biology, 9 (2), 44 (1999). DOI: 10.1016/S0962-8924(98)01424-X
  3. А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед., 1, 5 (2017). DOI: 10.7868/S0207352817010048 [A.D. Akhsakhalyan, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, M.N. Toropov, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo, A.V. Shcherbakov. J. Surf. Investig. X-ray Synchrotron and Neutron Techniq., 11 (1), 1 (2017). DOI: 10.1134/S1027451017010049]
  4. G. Tallents, E. Wagenaars, G. Pertv. Nature Photon., 4, 809 (2010). DOI: 10.1038/nphoton.2010.277
  5. I.A. Makhotkin, E. Zoethout, R. van de Kruijs, S.N. Yakunin, E. Louis, A. Yakunin, V. Banine, S. Mullender, F. Bijkerk. Opt. Express, 21, 29894 (2013). DOI: 10.1364/OE.21.029894
  6. P. Wachulak, M. Duda, A. Bartnik, . Wegrzynski, T. Fok, H. Fiedorowicz. APL Photon., 4, 030807 (2019). DOI: 10.1063/1.5085810
  7. M. Giorgetti. ISRN Mater. Sci., 2013, 1 (2013). DOI: 10.1155/2013/938625
  8. H. Legall, G. Blobel, H. Stiel, W. Sandner, C. Seim, P. Takman, D. Esser. Opt. Express, 20 (16), 18362 (2012). DOI: 10.1364/OE.20.018362
  9. M. Benk, K. Bergmann, D. Schafer, T. Wilhein. Opt. Lett., 33 (20), 2359 (2008). DOI: 10.1364/OL.33.002359
  10. S.A. Garakhin, N.I. Chkhalo, I.A. Kas'kov, A.Ya. Lopatin, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.N. Tsybin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Rev. Sci. Instrum., 91, 063103 (2020). DOI: 10.1063/1.5144489
  11. T. Harada, T. Hatano, J. Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 144--147, 1075 (2005). DOI: 10.1016/j.elspec.2005.01.042
  12. Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин. Квант. электрон., 43 (4), 388 (2013). [E.B. Klyuenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin. Quant. Electron., 43 (4), 388 (2013). DOI: 10.1070/QE2013v043n04ABEH015130]
  13. C. Burcklen, S. de Rossi, E. Meltchakov, D. Dennetiere, B. Capitanio, F. Polack, F. Delmotte. Opt. Lett., 42 (10), 1927 (2017). DOI: 10.1364/OL.42.001927
  14. В.Н. Полковников, С.А. Гарахин, Д.С. Квашенников, И.В. Малышев, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Р.М. Смертин, Н.И. Чхало. ЖТФ, 90 (11), 1893 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49980.143-20 [V.N. Polkovnikov, S.A. Garakhin, D.S. Kvashennikov, I.V. Malyshev, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, R.M. Smertin, N.I. Chkhalo. Tech. Phys., 65, 1809 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110225]
  15. K.-W. Kim, K.-Y. Nam, Y.-M. Kwon, S.-T. Shim, K.-G. Kim, K.-H. Yoon. J. Opt. Soc. Korea, 7, 230 (2003). DOI: 10.3807/JOSK.2003.7.4.230
  16. S. Huebner, N. Miyakawa, S. Kapser, A. Pahlke, F. Kreupl. IEEE Transact. Nucl. Sci., 62 (2), 588 (2015). DOI: 10.1109/TNS.2015.2396116
  17. R.T. Perkins, D.D. Allred, L.V. Knight, J.M. Thorne. Proc. SPIE, 1160, 56 (1989). DOI: 10.1117/12.962627
  18. S. Schreck, G. Gavrila, C. Weniger, P. Wernet. Rev. Sci. Instrum., 82, 103101 (2011). DOI: 10.1063/1.3644192
  19. M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Y. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, S.Y. Zuev. Proc. SPIE, 7025, 702502 (2008). DOI: 10.1117/12.802347
  20. K. Gao, X. Zhang, B. Liu, J. He, J. Feng, P. Ji, W. Fang, F. Yin. Metal Composites: A Rev. Metals, 10 (1), 4 (2019). DOI: 10.3390/met10010004
  21. M. Huang, C. Xu, G. Fan, E. Maawad, W. Gan, L. Geng, F. Lin, G. Tang, H. Wu, Y. Du, D. Li, K. Miao, T. Zhang, X. Yang, Y. Xia, G. Cao, H. Kang, T. Wang, T. Xiao, H. Xie. Acta Mater., 153, 235 (2018). DOI: 10.1016/j.actamat.2018.05.005
  22. E. Zoethout, G. Sipos, R.W.E. van de Kruijs, A.E. Yakshin, E. Louis, S. Mullender, F. Bijkerk. Proc. SPIE, 5037, 872 (2003). DOI: 10.1117/12.490138
  23. K.W. Kim, Y. Kwon, K.Y. Nam, J.H. Lim, K.G. Kim, K.S. Chon, B.H. Kim, D.E. Kim, J. Kim, B.N. Ahn, H.J. Shin, S. Rah, K.-H. Kim, J.S. Chae, D.G. Gweon, D.W. Kang, S.H. Kang, J.Y. Min, K.-S. Choi, S.E. Yoon, E.-A Kim, Y. Namba, K.-H. Yoon. Phys. Med. Biol., 51 (6), N99 (2006). DOI: 10.1088/0031-9155/51/6/N01
  24. M.G. Ayele, P.W. Wachulak, J. Czwartos, D. Adjei, A. Bartnik, . Wegrzynski, M. Szczurek, L. Pina, H. Fiedorowicz. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 411, 35 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2017.03.082
  25. L. Didkovsky, D. Judge, S. Wieman, T.Woods, A. Jones. Sol. Phys., 275, 179 (2012). DOI: 10.1007/s11207-009-9485-8
  26. [Электронный ресурс] Режим доступа: https://henke.lbl.gov/optical_constants/filter2.html

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme