Вышедшие номера
Оптимизация газовых смесей многополосных эксиламп
Бойченко А.М.1, Кленовский М.С.2, Соснин Э.А. 3,4, Тарасенко В.Ф. 3,4
1Институт фундаментальных проблем теоретической физики и математики, Москва, Россия
2Высшая школа химической технологии, Прага, Чехия
3Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
4Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: badik@loi.hcei.tsc.ru, VFT@loi.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 15 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 31 января 2023 г.
Принята к печати: 9 февраля 2023 г.
Выставление онлайн: 21 марта 2023 г.

Рассмотрена проблема оптимизации газоразрядных источников многополосного ультрафиолетового излучения - эксиламп. Предложена методика по оценке соотношения парциальных давлений компонент газовой смеси, позволяющая упростить процесс разработки многополосной эксилампы с желаемым соотношением мощностей излучения полос. Показано, что оптимизация многополосной эксилампы на смеси одного инертного газа с несколькими галогеноносителями может быть сведена к задаче оптимизации эксилампы на двухкомпонентной смеси. В случае необходимости использования, наряду с излучением эксиплексных, излучения также и эксимерных молекул, данная методика позволяет регулировать относительный вклад мощностей этих молекул. Ключевые слова: газовый разряд, источники ультрафиолетового излучения, кинетика плазмохимических процессов, эксимерные и эксиплексные молекулы. DOI: 10.21883/JTF.2023.04.55042.247-22