Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента
Приходько К.Е.
1,2, Дементьева М.М.
11Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: prihodko_ke@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2023 г.
Принята к печати: 6 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
С использованием зондового метода сфокусированного ионного пучка был вырезан образец поперечного среза единичного функционального элемента микронных размеров - элемента индуктивности, изготовленного из сверхпроводящего нанопровода, для проведения ПРЭМ (просвечивающая растровая электронная микроскопия) и ПЭМ (просвечивающая электронная микроскопия) исследований. Применение аналитических методов ПЭМ позволило получить точные данные о геометрических параметрах сечения нанопровода, фазовом и элементном составе сверхпроводящего материала элемента, а также о концентрации свободных электронов на уровне Ферми. Ключевые слова: просвечивающая растровая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, криогенный элемент индуктивности; спектроскопия энергетических потерь энергии электронов.
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, E.A. Kuleshova, A.Yu Yakubovsky, E.Z. Meilikhov, М.G. Mosthenko. J. Magn. Magn. Mater., 322, 3060 (2010). DOI: 10.1016/j.jmmm.2010.05.029
- W.H. Chang, W.Y. Chen, H.S. Chang, Tung-Po Hsieh, Jen-Inn Chyi, Tzu-Min Hsu. Phys. Rev. Lett., 96 (11), 3 (2006). DOI: 10.1103/PhysRevLett.96.117401
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров, Д.А. Комаров, Е.М. Малиева. ФТТ, 64 (10), 1390 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23 [B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, L.V. Kutuzov, B.V. Goncharov, D.A. Komarov, E.M. Malieva. Physics of the Solid State, 64 (10), 1373 (2022). DOI: 10.21883/PSS.2022.10.54221.47HH]
- G. Goltsman, A. Korneev, V. Izbenko, K. Smirnov, P. Kouminov, B. Voronov, N. Kaurova, A. Verevkin, J. Zhang, A. Pearlman, W. Slysz, R. Sobolewski. Nucl. Instruments Methods Phys. Res. Sect. A Accel. Spectrometers, Detect. Assoc. Equip., 520 (1-3), 527 (2004). DOI: 10.1016/j.nima.2003.11.305
- K.K. Likharev. Phys. C Supercond. Its Appl., 482, 6 (2012). DOI: 10.1016/j.physc.2012.05.016
- D.B. Williams, C.B. Carter. Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (Springer, 2009), DOI: 10.1007/978-1-61779-415-5_23
- L.A. Giannuzzi, F.A. Stevie. Micron., 30 (3), 197 (1999). DOI: 10.1016/S0968-4328(99)00005-0
- C. Li, G. Habler, L.C. Baldwin, R. Abart. Ultramicroscopy, 184, 310 (2018). DOI: 10.1016/j.ultramic.2017.09.011
- M.B. Ward, N.A. Porter, P. Sinha, R. Brydson, C.H. Marrows. J. Phys. Conf. Ser. 522, 012044 (2014). DOI: 10.1088/1742-6596/522/1/012044
- A. Abud, E. Coletto, S. Oliveira. et al. Microscopy Microanalysis, 16, 6 (2010). DOI: 10.1017/S14319276100
- D.A.M. de Winter, C. Hsieh, M. Marko M.F. Hayles. J. Microsc., 281, (2), 125 (2021). DOI: 10.1111/jmi.12943
- H. Ho, K. Gray, R. Kampwirth, et al. J. Mater. Sci., 21, 4097 (1986)
- R. Schneider, B. Freitag, D. Gerthsen, K.S. Ilin, M. Siegel. Cryst. Res. Technol., 44 (10) 1115 (2009). DOI: 10.1002/crat.200900462
- K.E. Prikhodko, B.A. Gurovich, M.M. Dement?Eva. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 130, 012046 (2016). DOI: 10.1088/1757-899X/130/1/012046
- Д.И. Долгий, Е.Д. Ольшанский, Е.П. Рязанцев. Конверсия в машиностроении, 3-4, 119 (1999)
- К.Е. Приходько, М.М. Дементьева, Б.А. Гурович. Кристаллография, 63 (2), 261 (2018). DOI: 10.7868/S0023476118020169
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
