Анализ оптических характеристик дендритных наноструктур Ag на c-Si методом спектральной эллипсометрии
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , FFUG-2024-0017
Большаков В.О.
1, Пригода К.В.
1, Ермина А.А.
1, Марков Д.П.
1, Жарова Ю.А.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
![Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia](/images/e16.png)
Email: lion080895@gmail.com, kristinaprigoda@mail.ioffe.ru, annaermina97@gmail.com, danisimyss@gmail.com, piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 1 октября 2024 г.
Принята к печати: 30 октября 2024 г.
Выставление онлайн: 12 февраля 2025 г.
Методом химического осаждения из раствора AgNO3 + HF получены дендритные наноструктуры серебра разной морфологии и средней высоты от 210 до 1030 nm на поверхностях кремниевых подложек. Модели Бруггемана, Таука-Лоренца, Гаусса и Друде использовались для анализа оптических свойств, толщины слоя и фактора заполнения при интерпретации экспериментальных эллипсометрических данных. В результате была получена хорошая сходимость экспериментальных и расчетных спектров действительной <ε_1> и мнимой <ε_2> частей комплексной псевдодиэлектрической проницаемости <ε>. Ключевые слова: спектральная эллипсометрия, дендриты серебра, кремний.
- R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1977)
- T.W.H. Oates, H. Wormeester, H. Arwin. Prog. Surf. Sci., 86 (11-12), 328 (2011). DOI: 10.1016/j.progsurf.2011.08.004
- G.G. Politano, C. Versace. Spectrosc. J., 1 (3), 163 (2023). DOI: 10.3390/spectroscj1030014
- A.A. Ermina, V.O. Bolshakov, K.V. Prigoda, V.A. Tolmachev, S.A. Grudinkin, Yu.A. Zharova. Opt. Spectrosc., 132 (7), 721 (2024). DOI: 10.61011/0000000000
- J.B. Theeten, D.E. Aspnes. Ann. Rev. Mater. Res., 11 (1), 97 (1981). DOI: 10.1146/annurev.ms.11.080181.000525
- S. Bian, O. Arteaga. Opt. Express, 31 (12), 19632 (2023). DOI: 10.1364/OE.490197
- K. Prigoda, A. Ermina, V. Bolshakov, D. Nazarov, I. Ezhov, O. Lutakov, M. Maximov, V. Tolmachev, Y. Zharova. Coatings, 12 (11), 1748 (2022). DOI: 10.3390/coatings12111748
- Y. Zharova, A. Ermina, S. Pavlov, Y. Koshtyal, V. Tolmachev. Phys. St. Sol. A, 216 (17), 1900318 (2019). DOI: 10.1002/pssa.201900318
- K. Prigoda, A. Ermina, V. Bolshakov, A. Tabarov, V. Levitskii, O. Andreeva, A. Gazizulin, S. Pavlov, D. Danilenko, V. Vitkin, Y. Zharova. Opt. Mater., 149, 114977 (2024). DOI: 10.1016/j.optmat.2024.114977
- M. Lonvcaric, J. Sancho-Parramon, H. Zorc. Thin Solid Films, 519 (9), 2946 (2011). DOI: 10.1016/j.tsf.2010.12.068
- V.A. Tolmachev, Yu.A. Zharova, A.A. Ermina, V.O. Bolshakov. Opt. Spectrosc., 130 (2), 238 (2022). DOI: 10.21883/EOS.2022.02.53215.2668-21
- M.N.M.N. Perera, D. Schmidt, W.E.K. Gibbs, S. Juodkazis, P.R. Stoddart. Opt. Lett., 41 (23), 5495 (2016). DOI: 10.1364/OL.41.005495
- C. Tanguy. Phys. Rev. B, 60 (15), 10660 (1999). DOI: 10.1103/PhysRevB.60.10660
- P. Drude. Ann. Phys., 270 (7), 489 (1888). DOI: 10.1002/andp.18882700706
- D. Ge, J. Wei, J. Ding, J. Zhang, C. Ma, M. Wang, L. Zhang, S. Zhu. ACS Appl. Nano Mater., 3 (3), 3011 (2020). DOI: 10.1021/acsanm.0c00296
- D.T. Tran, L.T.Q. Ngan, C.T. Anh, M.K. Ngoc, L.V. Vu. Adv. Nat. Sci: Nanosci. Nanotechnol., 7 (1), 015007 (2016). DOI: 10.1088/2043-6262/7/1/015007
- S.A. Razek, A.B. Ayoub, M.A. Swillam. Sci. Rep., 9 (1), 13588 (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-49896-2
- C. Dao Tran, N. Luong Truc Quynh, T. A. Cao, M. Kieu Ngoc. Comm. Phys., 32 (2), 201 (2022). DOI: 10.15625/0868-3166/16113
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.