Влияние ионного и кислотного травления на структурные и магниторезонансные характеристики эпитаксиальных пленок феррит-гранатов
Сыров А.А., Томилин С.В., Семук Е.Ю., Османов С.В.
Email: anatoly199824@rambler.ru
Поступила в редакцию: 29 октября 2024 г.
В окончательной редакции: 20 марта 2025 г.
Принята к печати: 3 апреля 2025 г.
Выставление онлайн: 14 июля 2025 г.
Представлены экспериментальные результаты исследования влияния постростовой обработки тонких монокристаллических пленок катион-замещенных феррит-гранатов на их структурные и магнитные характеристики. Показано, что кислотное травление поверхности монокристаллических гранатов, как правило, уступает в качестве обработки поверхности методу ионно-плазменного травления. При исследовании морфологии поверхностного слоя и спектров ферромагнитного резонанса в эпитаксиальной пленке феррит-граната показало, что использование в качестве травителя ортофосфорной кислоты привело к уменьшению шероховатости поверхности, однако не обеспечило качественного сохранения магнитных характеристик по сравнению с ионно-плазменным методом обработки, который не ухудшил структуру и не разрушил кристаллическую решетку феррит-гранатов. Ключевые слова: ионное травление, кислотное травление, феррит-гранат, ферромагнитный резонанс, профиль края, маскирование. DOI: 10.21883/0000000000
- В.Г. Вишневский, Р.М. Михерский, С.В. Дубинко. ЖТФ, 72 (2), 96 (2002)
- N. Lugovskoy, V. Berzhansky, D. Glechik, A. Prokopov. J. Phys.: Conf. Ser., 1124, 5 051063 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1124/5/051063
- П.М. Ветошко, Н.А. Гусев, Д.А. Чепурнова, Е.В. Самойлова, И.И. Сыворотка, И.М. Сыворотка, А.К. Звездин, А.А. Коротаева, В.И. Белотелов. Письма в ЖТФ, 42 (16), 64 (2016). [P.M. Vetoshko, N.A. Gusev, D.A. Chepurnova, E.V. Samoilova, I.I. Sera, I.M. Sera, A.K. Zvezdin, A.A. Korotaeva, V.I. Belotelov. Tech. Phys. Lett., 42 (8), 860 (2016). DOI: 10.1134/S1063785016080289]
- С.Л. Высоцкий, М.Е. Селезнев, Ю.В. Никулин, А.В. Кожевников, Г.М. Амаханов, А.Г. Темирязев. ФТТ, 66 (7), 1057 (2024). DOI: 10.61011/FTT.2024.07.58373.34HH
- А. Малоземов, Дж. Слонзуски. Доменные стенки в материалах с цилиндрическими магнитными доменами (Мир, М., 1982)
- С.В. Левый, Ю.С. Агалиди, В.Г. Вишневский. Известия вузов. Радиоэлектроника, 41 (8), 74 (1998)
- (U). Ozgur, Y. Alivov, H. Morko. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 20 (9), 789 (2009). DOI: 10.1007/s10854-009-9923-2
- Р.М. Егужокова, А.И. Иванова, Е.М. Семенова. Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов, 11, 123 (2019)
- Ю.М. Буньков. УФН, 180 (8), 884 (2010). DOI: 10.3367/UFNr.0180.201008m.0884 [Yu.M. Bunkov. Phys. Usp., 53 (8), 848 (2010). DOI: 10.3367/UFNe.0180.201008m.0884]
- А. Устинов, В. Кочемасов, Е. Хасьянова. Электроника, 8 (00148), 86 (2015)
- К.В. Бубликов, С.Е. Шешукова, Е.Н. Бегинин, M. Tapajna, D. Gregusov, С.Н. Крылов, А.И. Стогний, С.А. Корчагин, С.А. Никитов, А.В. Садовников. ФТТ, 65 (7), 1157 (2023). DOI: 10.21883/FTT.2023.07.55838.32H
- В.В. Тихонов, В.А. Губанов, А.В. Садовников. ФТТ, 63 (9), 1335 (2021). DOI: 10.21883/FTT.2021.09.51310.32H [V.V. Tikhonov, V.A. Gubanov, A.V. Sadovnikov. Phys. Solid State, 63 (10), 1569 (2021). DOI: 10.1134/S1063783421090420]
- С.Н. Полулях, В.Н. Бержанский, Е.Ю. Семук, В.И. Белотелов, П.М. Ветошко, В.В. Попов, А.Н. Шапошников, А.Г. Шумилов, А.И. Чернов. ЖЭТФ, 159 (2), 307 (2021). DOI: 10.31857/S0044451021020103
- P.A. Popov, A.Y. Sharaevskaya, E.N. Beginin, A.V. Sadovnikov, A.I. Stognij, D.V. Kalyabin, S.A. Nikitov. J. Magn. Magn. Mater., 476, 423 (2019). DOI: 10.1016/j.jmmm.2018.12.008
- A.I. Chernov, M.A. Kozhaev, D.O. Ignatyeva, E.N. Beginin, A.V. Sadovnikov, A.A. Voronov, D. Karki, M. Levy, V.I. Belotelov. Nano Lett., 20, 5259 (2020). DOI: 10.1021/acs.nanolett.0c01528
- К.П. Белов. Редкоземельные магнетики и их применение (Наука, М., 1980)
- В.В. Рандошкин, А.Я. Червоненкис. Прикладная магнитооптика (Энергоатомиздат, М., 1990)
- А.М. Балбашов. Элементы и устройства на цилиндрических магнитных доменах: справочник, под ред. Н.Н. Евтихиева, Б.Н. Наумова (Радио и связь, М., 1987)
- А. Эшенфельдер. Физика и техника цилиндрических магнитных доменов (Мир, М., 1983). [Пер. с англ. A.H. Eschenfelder. Magnetic bubble technologу (Springer, 1981)]
- Ф.В. Лисовский. Физика цилиндрических магнитных доменов (Сов. радио, М., 1979)
- С.П. Зимин, И.И. Амиров, В.В. Наумов, М.С. Тиванов, Л.С. Ляшенко, О.В. Королик, E. Abramof, P.H.O. Rappl. ФТТ, 66 (8), 1408 (2024). DOI: 10.61011/FTT.2024.08.58608.131
- М.В. Логунов, С.А. Никитов, А.И. Стогний, С.С. Сафонов, А.Г. Темирязев. Изв. РАН. Серия физ., 83 (7), 950 (2019). DOI: 10.1134/S0367676519070251
- С.И. Ющук. ЖТФ, 69 (12), 62 (1999)
- В.И. Нецветов, А.И. Коссе, В.В. Щиголев, В.А. Хохлов, Ю.В. Медведев. Электронная обработка материалов, 45 (4), 47 (2009)
- Н.И. Цидаева, А.Т. Накусов, С.А. Хайманов, А.К. Хубаев, Л.М. Кубалова, W. Wang. ЖТФ, 90 (2), 289 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.02.48823.193-19 [N.I. Tsidaeva, A.T. Nakusov, S.A. Khaimanov, A.K. Khubaev, L.M. Kubalova, W. Wang. Tech. Phys., 65 (2), 276 (2020). https://doi.org/10.1134/S1063784220020243]
- W.A. Johnson, J.C. North, R. Wolfe. J. Appl. Phys., 44 (10), 4753 (1973). DOI: 10.1063/1.1662031
- В.Г. Костишин, А.Т. Морченко, Д.Н. Читанов, В.М. Трухан. Материалы электронной техники, 3, 29 (2012)
- A.A. Voronov, D.O. Ignatyeva, D. Karki, M.A. Kozhaev, M. Levy, V.I. Belotelov. Thirteenth International Congress on Artificial Materials for Novel Wave Phenomena, 447 (2019). DOI: 10.1109/MetaMaterials.2019.8900842
- Г.Ф. Ивановский, В.И. Петров. Ионно-плазменная обработка материалов (Радио и связь, М., 1986)
- А.Г. Шумилов, А.А. Федоренко, А.С. Недвига, Е.Ю. Семук, И.А. Наухацкий, В.Н. Бержанский, А.Н. Шапошников, С.В. Томилин. (Пат. RU 2 791 730 C1. Заявл. 28.11.2022, опубл. 13.03.2023)
- О.А. Томилина, А.А. Сыров, С.В. Томилин, В.Н. Бержанский. Поверхность, 10, 29 (2022). DOI: 10.31857/S1028096022100156
- P.M. Vetoshko, V.A. Skidanov, A.L. Stempkovskiy. Sensor Lett., 11 (1), 59 (2013). DOI: 10.1166/sl.2013.2768
- С.А. Юрьев, С.И. Ющук. Приборы и техника эксперимента, 6, 102 (2013). DOI: 10.7868/S0032816213050236
- С.Н. Иванов, М.И. Бичурин, Г.А. Семенов. Вестник НовГУ, 2 (73), 97 (2012)
- V.A. Skidanov, P.M. Vetoshko. Procedia Enineering, 5, 989 (2010). DOI: 10.1016/j.proeng.2010.09.275
- П.М. Ветошко, А.К. Звездин, В.А. Скиданов, И.И. Сыворотка, И.М. Сыворотка, В.И. Белотелов. Письма в ЖТФ, 41 (9), 103 (2015).
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук