Исследованы характеристики многослойной системы NiMo/C, перспективной для зеркал гебелевского типа. Синтезировались структуры методом реактивного магнетронного распыления в аргоне с импульсной подачей азота, процентное содержание которого в камере равнялось 15 % и 30 % от общего давления рабочего газа. Изучалось влияние отжига при максимальных температурах 250 ^oC и 320 ^oC на отражательные и структурные свойства многослойных структур NiMo/C. По результатам малоугловой рентгеновской рефлектометрии на длине волны 0.154 nm были определены структурные параметры NiMo/C. Показано, что величины переходных областей на слоях C и NiMo находятся в пределах 4-7 Angstrem и, в общем, после отжига имеют тенденцию к снижению, либо небольшим флуктуациям. После отжига образцы NiMo/C, синтезированные при доле азота 15 %, имели коэффициенты отражения в первом порядке 78.8 %-76.1 % для периодов 41.5-33.5 Angstrem соответственно. Для структур, синтезированных с 30 % содержанием азота, коэффициент отражения составил 81.4 %-77.4 %. Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, реактивное магнетронное распыление, гебелевские зеркала. XXIX Симпозиум Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 10-14 марта 2025 г. XXIX Симпозиум Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 10-14 марта 2025 г.