Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2025, выпуск 9 » Статья стр. 1817
<<<>>>
Структурные и отражательные характеристики Cr/C многослойных зеркал, полученных методом реактивного распыления
РНФ, 21-72-20108-П
РНФ, 21-72-30029-П
Шапошников Р.А.1, Гарахин С.А.1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия
Email: shaposhnikov-roma@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 мая 2025 г.
В окончательной редакции: 29 мая 2025 г.
Принята к печати: 29 мая 2025 г.
Выставление онлайн: 21 августа 2025 г.
PDF версия
Приведены результаты исследования отражательных характеристик и структурных параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Cr/C, оптимизированных на спектральный диапазон длин волн 44-66 Angstrem. Также приведены результаты исследования структур Cr/C, синтезированных в смеси газов "аргон + азот". Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное распыление, рентгеновская микроскопия, окно прозрачности углерода, биологические исследования.
  1. R. Shaposhnikov, V. Polkovnikov, S. Garakhin, Yu. Vainer, N. Chkhalo, R. Smertin, K. Durov, E. Glushkov, S. Yakunin, M. Borisov. J. Synchrotron Rad., 31, 268 (2024). DOI: 10.1107/S1600577524000419
  2. M. Fernandez-Perea, R. Soufli, J.C. Robinson, L.R. De Marcos, J.A. Mendez, J.I. Larruquert, E.M. Gullikson. Opt. Express, 20 (21), C24018 (2012). DOI: 10.1364/OE.20.024018
  3. R. Falcone, C. Jacobsen, J. Kirz, S. Marchesini, D. Shapiro, J. Spence. Contemporary Phys., 52 (4), 293 (2011). DOI: 10.1080/00107514.2011.589662
  4. S.V. Shestov, A.S. Ulyanov, E.A. Vishnyakov, A.A. Pertsov, S.V. Kuzin. Astronomical Telescopes and Instrumentation, 9144, 91443G (2014). DOI: 10.1117/12.2055946
  5. S. Braun, H. Mai, M. Moss, R. Scholz, A. Leson. Jpn. J. Appl. Phys., 41, 4074 (2002). DOI: 10.1143/JJAP.41.4074
  6. В.Н. Полковников, Н.И. Чхало, Р.А. Шапошников, A.Д. Николенко. ЖТФ, 93 (7), 943 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55750.102-23
  7. Q. Huang, J. Fei, Y. Liu, P. Li, M. Wen, C. Xie, P. Jonnard, A. Giglia, Z. Zhang, K. Wang, Z. Wang. Opt. Lett., 41 (4), 701 (2016). DOI: 10.1364/OL.41.000701
  8. И.А. Артюков, А.В. Виноградов, Ю.С. Касьянов, С.В. Савельев. Квантовая электроника, 34 (8), 691 (2004). DOI: 10.1070/QE2004v034n08ABEH002723
  9. A.В. Виноградов. Зеркальная рентгеновская оптика (Машиностроение, Л., 1989)
  10. J. Feng, Q. Huang, H. Wang, X. Yang, A. Giglia, C. Xie, Z. Wang. J. Synchrotron Rad., 26, 720 (2019). DOI: 10.1107/S1600577519001668
  11. J.T. Zhu, B. Wang, Z. Zhang, H.C. Wang, Y. Xu, F.L. Wang, Z.S. Wang, L.Y. Chen, M.Q. Cui. X-Ray Lasers, 547 (2006), DOI: 10.1007/978-1-4020-6018-2_70
  12. M. Wen, L. Jiang, Z. Zhang, Q. Huang, Z. Wang, R. She, H. Feng, H. Wang. Thin Solid Films, 592, 262 (2015). DOI: 10.1016/j.tsf.2015.06.005
  13. S. Deng, H. Qi, K. Yi, Z. Fan, J. Shao. Appl. Surf. Sci., 255, 7434 (2009). DOI: 10.1016/j.apsusc.2009.04.014
  14. H. Takenaka, S. Ichimaru, K. Nagai, T. Ohchi, H. Ito, E.M. Gullikson. Surf. Interface Anal., 37, 181 (2005). DOI: 10.1002/sia.1959
  15. M. Niibe, M. Tsukamoto, T. Iizuka, A. Miyake, Y. Watanabe, Y. Fukuda. Intl Symp. Opt. Fabrication, Testing, and Surface Evaluation., (1992). DOI: 10.1117/12.132127
  16. J. Feng, Q. Huang, R. Qi, X. Xu, H. Zhou, T. Huo, A. Giglia, X. Yang, H. Wang, Z. Zhang, Z. Wang. Opt. Express, 27 (26), 38493 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.038493
  17. С.С. Андреев, М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, П.К. Гайкович, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Кристаллография, 58 (3), 497 (2013). DOI: 10.7868/S002347611303003X
  18. D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, F. Bijkerk. J. Nanosci. Nanotechnol, 19 (1), 585 (2019). DOI: 10.1166/jnn.2019.16476
  19. D. Xu, Q. Huang, Y. Wang, P. Li, M. Wen, P. Jonnard, A. Giglia, I.V. Kozhevnikov, K. Wang, Z. Zhang, Z. Wang. Opt. Express, 23 (26), 33018 (2015). DOI: 10.1364/OE.23.033018
  20. R.M. Smertin, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Garakhin, I.V. Malyshev, V.N. Polkovnikov. Opt. Express, 32 (15), 26583 (2024). DOI: 10.1364/OE.524921
  21. D.S. Kuznetsov, A.E. Yakshin, J.M. Sturm, R.W.E. van de Kruijs, E. Louis, F. Bijkerk. Opt. Lett., 40 (16), 3778 (2015). DOI: 10.1364/OL.40.003778
  22. N.I. Chkhalo, S. Kunstner, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, S.D. Starikov. Appl. Phys. Lett., 102, 011602 (2013). DOI: 10.1063/1.4774298
  23. D.L. Windt, E.M. Gullikson. Appl. Opt., 54 (18), 5850 (2015). DOI: 10.1364/AO.54.005850
  24. M. Wu, C. Burcklen, J.M. Andre, K.L. Guen, A. Giglia, K. Koshmak, S. Nannarone, F. Bridou, E. Meltchakov, S. de Rossi, F. Delmotte, P. Jonnard. Opt. Eng., 56 (11), 117101 (2017). DOI: 10.1117/1.OE.56.11.117101
  25. M. Prasciolu, A.F.G. Leontowich, K.R. Beyerlein, S. Bajt. Appl. Opt., 53 (10), 2126 (2014). DOI: 10.1364/AO.53.002126
  26. И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 37 (2013). DOI: 10.7868/S0207352813070202
  27. M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 543, 333 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.251
  28. M. Svechnikov. J. Appl. Crystall., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/S160057671901584X

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme