На примере сверхгладкой кремниевой подложки продемонстрировано, что использование современных интерферометров белого света позволило получить достоверные данные даже для высокоточных подложек с субнанометровой шероховатостью поверхности. Для подтверждения достоверности результатов, полученных методом интерференционной микроскопии в среднечастотном пространственном диапазоне, сопоставлены PSD-функции поверхности подложки, полученные при использовании объективов с разным увеличением, а также с помощью методов атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии с синхротронным источником. Определена шероховатость подложки на уровне 0.8 nm в диапазоне пространственных частот 1.5· 10^-3-64 μ m^-1. Ключевые слова: шероховатость поверхности, интерферометрия белого света, функция спектральной плотности мощности, сверхгладкие поверхности, атомно-силовая микроскопия, диффузное рассеяние рентгеновского излучения, средние пространственные частоты.