Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Измерения толщины нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл--полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитного излучения
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия 
Email: usanovda@info.sgu.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2006 г.
Теоретически и экспериментально исследованы особенности взаимодействия электромагнитного излучения с нанометровыми структурами металл-полупроводник. Предложена и экспериментально реализована методика неразрушающего многопараметрового контроля электрофизических параметров нанометровых слоев металла и электропроводности полупроводника в структурах металл-полупроводник по спектрам отражения и прохождения электромагнитной волны. PACS: 81.07.-b
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с
- Бетфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение. М.--Л.: Госэнергоиздат, 1963. 272 с
- Усанов Д.А., Скрипаль А.В. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 5. С. 72--77
- Чаплыгин Ю.А., Усанов Д.А., Скрипаль А.В. и др. // Изв. вузов. Электроника. 2005. N 1. С. 68--77
- Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Наука, 1973. 343 с
- Усанов Д.А. СВЧ методы измерения параметров полупроводников. Саратов: Изд-во Сарат. ун-та, 1985. 55 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
