Количественный анализ вспучивания при отжиге монокристаллов алмаза, имплантированных ионами водорода
Кузнецов Г.Ф.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Фрязино, Московская область, Россия
Email: gfk217@ire216.msk.su
Поступила в редакцию: 22 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.
Изучены параметры локального вспучивания в процессе высокотемпературного отжига природных монокристаллов алмаза, предварительно имплантированных ионами водорода с энергией 350 keV при дозе 12·1016 cm2. На основе экспериментальных измерений при комнатной температуре и критерия трещинообразования Гриффитса в сочетании с объединенным газовым законом впервые выполнены модельные количественные расчеты размеров пузырьков Rj=(0.361-5.568)10-3 m; Vj=(307-9695)10-18 m3 и числа молекул водорода в них (nj=(0.448-10.95)1013), величины локальных упругих напряжений в верхнем слое алмаза, которое уравновешивается внутренним давлением газа водорода при комнатной температуре T1=293 K sigmaj1= Pj1=(2.968-6.439)107 Pa, возрастающее при температуре отжига Tj2=1693 K до Pj2=(0.1717-0.875) GPa, в повторном отжиге при температуре Tj3=1743 K давление в пузырьках должно было бы возрастать до Pj3=0.1747-0.901 GPa, но часть пузырьков треснула и при этом отслоились тонкие пластинки алмаза. PACS: 81.05.Uw
- Gippius A.A., Khmelnitsky R.A., Dravin V.A., Khomich A.V. // Diam. Rel. Mater. 2003. Vol. 12. P. 538
- Козловский В.В., Козлов В.Н., Ломасов В.Н. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 2. С. 129
- Novikov N., Dub S.N. // J. Hard. Mater. 1991. Vol. 2. P. 3--11
- Brookes E.J., Comins J.D., Daniel R.D., Erasmus R.M. // Diam. Rel. Mater. 2000. Vol. 9. P. 1115
- Палатник Л.С., Савицкий Б.А., Усенко М.Ю. и др. // ФТТ. 1974. Т. 16. N 12. С. 3592
- Природные алмазы России. М.: Полярон, 1997. 304 с
- Хирт Дж., Лоте И. Теория дислокаций. М.: Атомиздат, 1972. 600 с
- Фридель Ж. Дислокации. М.: Мир, 1967. 643 с
- Кузнецов Г.Ф., Ральченко В.Г., Варнин В.П. и др. // Кристаллография. 2002. Т. 47. N 2. С. 333
- Кузнецов Г.Ф. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 12. С. 45
- Кузнецов Г.Ф. // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1979. Вып. 2 (127). С. 120
- Khmelnitsky R.A., Zavedeev E.V., Khomich A.V., Gooskov A.V., Gippius A.A. // Vacuum. 2005. N 78. P. 273
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук