Измерение параметров диэлектрических слоев методом периодической зарядки их поверхности
Жилинскас П.Ю.1, Монтримас Э.1, Лозовски Т.1
1Вильнюсский университет, Вильнюс, Литва
Email: pranas.zilinskas@ff.vu.lt
Поступила в редакцию: 18 октября 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.
На основе периодического дозированного осаждения заряда на поверхность диэлектрического слоя, синхронного измерения накопленного заряда и поверхностного потенциала, а также измерения поверхностного потенциала, как при произвольной разрядке, так и при разрядке под действием освещения слоя, показана возможность определения параметров и характерик исследуемого диэлектрического слоя. По накопленным во время измерения данным строится зависимость величины поверхностного потенциала слоя от величины плотности осаждаемого заряда, а также зависимости эффективной емкости, дифференциальной емкости и сопротивления утечки слоя от величины поверхностного потенциала. Показано, что по полученным характеристикам можно анализировать физические явления, происходящие в исследуемом диэлектрическом слое, определить временные параметры, т. е. время полуспада потенциала в темноте и время полуспада потенциала при освещении слоя, а также определить емкость, предельное значение поверхностного потенциала, рассчитать диэлектрическую проницаемость, сопротивление утечки и фоточувствительность исследуемого диэлектрического слоя. PACS: 77.20.-d
- Борисова М., Койков С. Физика диэлектриков. Л.: Изд-во ЛГУ, 1979. 239 с
- ГОСТ 10405-63. Диэлектрики твердые. Пленки тонкие из высокомолекулярных соединений. Методы испытаний
- IEC 61340-2-3:2000. Electrostatics. Part 2--3: Methods of test for determining the resistance and reseistivity of solid planar materials used to avoid electrostatic charge accumulation
- Лозовски Т.Л., Монтримас Э.А. // Метрология. 1998. Т. 8. С. 29--36
- Лозовски Т., Монтримас Э., Мотеюнас К. и др. // А.с. СССР. 1486954. БИ. 1989. N 22. 3 c
- Lozovski T., Montrimas E., Maldzius R. // Synthetic Metals. 2000. Vol. 109. P. 195--198
- Гренишин С.Г., Черкасов Ю.А. // ЖниПФиК. 1962. Т. 7. N 2. C. 12
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.