Увеличение адгезии металлических пленок к кремнию с помощью ионной бомбардировки в процессе их роста
Наумов В.В.1, Бочкарев В.Ф.1, Бучин Э.Ю.1
1Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль, Россия
Email: vvnau@rambler.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Для увеличения адгезии пленок никеля и ванадия к кремнию использована интенсивная ионная бомбардировка на начальной стадии их роста. Нанесение пленок осуществлялось методом высокочастотного магнетронного распыления со смещением на подложке. Предложенная технология за счет активного перемешивания контактирующих материалов и формирования переходного слоя с градиентом концентраций позволила существенно увеличить адгезию металлических пленок к кремнию. Обнаружена корреляция между величиной адгезии пленок и их кристаллическим состоянием. PACS: 68.35.Np, 68.55.Jk, 81.15.-z
- Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1986. С. 41
- Муминов Р.А., Каримов А.В., Исмаилов Х.Х., Заверюхин Б.И. // Поверхность. 2000. N 10. С. 92
- Наумов В.В., Бочкарев В.Ф., Трушин О.С., Горячев А.А., Хасанов Э.Г., Лебедев А.А., Куницын А.С. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 8. С. 92--97
- Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П., Соловьева О.Н. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1991. С. 113
- Наумов В.В., Бочкарев В.Ф., Горячев А.А., Куницын А.С., Ильяшенко Е.И., Гоа П.Е., Иохансен Т.Х. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 4. С. 48
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 48, 412
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
