"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC - Si
Божевольнов В.Б.1, Яфясов А.М.1, Миайловский В.Ю.1, Егорова Ю.В.1, Соколов А.А.1, Филатова Е.О.1
1Санкт-Петербургский государственный университет (физический факультет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2014 г.

Представлен анализ зарядовых свойств многослойной структуры, состоящей из политипов карбида кремния на кремниевой подложке. Знание свойств области пространственного заряда кремния и возможность воздействия на поверхность структуры в эффекте поля [1] позволило получить данные о зарядовых процессах на межфазной границе политипов. Эти данные актуальны для совершенствования методов синтеза электронных структур на основе политипов SiC.
  • E. Filatova, V. Lukyanov, R. Barchewitz. et al. J. Phys.: Condens. Matter, 11, 3355 (1999)
  • E. Filatova, A. Stepanov, C. Blessing, J. Friedrich, R. Barchewitz, J.-M. Andre, F.Le. Guern, S. Bac, P. Troussel. J. Phys.: Condens. Matter, 7, 2731 (1995)
  • Dien Li, G.M. Bancroft, M. Kasrai. Amer. Mineralogist, 79 622 (1994)
  • P.L. Hansen, R. Brydson, D.W. McComb. Microsc., Microanal., Microstruct., 3, 213 (1992)
  • M. Tallarida, D. Schmeisser, F. Zheng, F.J. Himpsel. Surf. Sci., 600, 3879 (2006)
  • P.P. Konorov, A.M. Yafyasov, V.B. Bogevolnov. Field-Effect in Semiconductor-electrolyte interface: Application to Investigations of Electronic Properties of the Semiconductor Surfaces (Princeton --- Oxford University Press USA, 2006)
  • Handbook series on semiconductor parameters, ed. by M. Levinshtein, S. Rumyantsev and M. Shur (Word Scientific Publishing Co. Pte. Ltd. Singapore-N.J.--London--Hong Kong, 1966) v. 1, p. 218
  • В.В. Козловский, В.А. Козлов. ФТП, 33 (12), 1409 (1999)
  • Froudakis, P. Lithoxoos, J. Samios. Nano Lett., 9 (6(8)), 1581-3 (2006)
  • Yu. Goldberg, M.E. Levinstein, S.L. Rumyantsev. In: Properties of Advanced Semiconductor Materials GaN, AlN, BN, SiC, SiGe, ed by M.E. Levinstein, S.L. Rumyantsev and M.S. Shur (N.Y., Wiley and Sons, 2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.