"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект псевдолегирования аморфного кремния
Голикова О.А., Казанин М.М., Кудоярова В.X., Мездрогина М.М., Сорокина К.Л., Бабаходжаев У.С.
Выставление онлайн: 19 сентября 1989 г.

Получены пленки гидрированного аморфного кремния (a-Si : Н) методом ВЧ разложения силаносодержащей газовой смеси в диодной и триодной системах. Показано, что варьирование температуры и скорости осаждения пленок, скорости прокачки газовой смеси, потенциала смещения на сетке (в триодной системе) приводит к изменениям элементов структурной сетки a-Si : Н и соответственно функции плотности состояний и положения уровня Ферми в щели подвижности. Таким образом, без специального легирования удается смещать уровень Ферми в пределах |varepsilonc-varepsilonF| =0.9/0.3 эВ.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.