"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимосвязь спиновых структурных дефектов и проводимости в пленках гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода
Шевалеевский О.И.1, Цветков А.А.1, Ларина Л.Л.1, Myong S.Y.2, Lim K.S.2
1Институт биохимической физики Российской академии наук, Москва, Россия
2Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon 305-701, South Korea
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследовано поведение парамагнитных дефектов и темновой проводимости в гетерогенных образцах гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода (nc-SiC : H), полученных методом фотостимулированной газовой эпитаксии (photo-CVD). Показано, что при увеличении содержания углерода в nc-SiC : H происходит фазовый переход структуры от нанокристаллической к аморфной, что приводит к уменьшению концентрации спиновых дефектов и значительному понижению величины темновой проводимости.
  • B. Goldstein, C.R. Dickson, Appl. Phys. Leet., 53, 2672 (1988)
  • S.Y. Myong, S.S. Kim, O. Shevaleevskii, K.H. Jun, M. Konogai, K.S. Lim. Proc. 29th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (New Orleans, USA, 2002) p. 1226
  • А.Г. Казанский, П.А. Форш, К.Ю. Хабаров, М.В. Чукиев. ФТП, 37, 1100 (2003)
  • S. Ghosh, A. Dasgupta, S. Ray. J. Appl. Phys., 78, 3200 (1995)
  • J.K. Rath. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 76, 431 (2003)
  • R. Schropp. Thin Sol. Films, 403--404, 17 (2002)
  • A.L. Baia Neto, A. Lambertz, R. Carius, F. Finger. Phys. St. Sol., 186, R4 (2001)
  • J.W. Lee, K.S. Lim. J. Appl. Phys., 81, 2432 (1997)
  • S.Y. Myong, H.K. Lee, E. Yoon, K.S. Lim. J. Non-Cryst. Sol., 298, 131 (2002)
  • S.Y. Myong, H.K. Lee, E. Yoon, K.S. Lim. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 557, 603 (1999)
  • D. Kuhmann, S. Grammatica, F. Jansen. Thin Sol. Films, 177, 253 (1989)
  • U.K. Das, T. Yasuda, S. Yamasaki. Phys. Rev. B, 63, 245 204 (2001)
  • А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 34, 373 (2000)
  • F. Giorgis, C.F. Pirri, E. Tresso, V. Rigato, S. Zandolin, P. Rava. Physica B, 229, 233 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.