Емельченко Г.А.1, Масалов В.М.1, Жохов А.А.1, Ходос И.И.2
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
