Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Кинетические свойства тонких пленок ТiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления
1Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича, Черновцы, Украина 
2Helmholtz-Zentrum Berlin fur Materialien und Energie GmbH, Berlin, Germany
2Helmholtz-Zentrum Berlin fur Materialien und Energie GmbH, Berlin, Germany
Email: solovan-86@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.
Представлены результаты исследований кинетических свойств тонких пленок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что тонкие пленки ТiN являются поликристаллическими и обладают полупроводниковым n-типом проводимости. Концентрация носителей заряда составляет ~1022 cm-3, а рассеяние электронов происходит на ионизированных атомах титана.
- G. Gagnon, J.F. Currie, C. Beique, J.L. Brebner, S.G. Gujrathi, L. Onllet. J. Appl. Phys. 75, 1565 (1994)
- Р.А. Андриевский, З.М. Дашевский, Г.В. Калинников. Письма в ЖТФ 30, 22, 1 (2004)
- M.S.R.N. Kiran, M. Ghanashyam Krishna, K.A. Padmanabhan. Appl. Surf. Sci. 255, 1934 (2008)
- M. Tao, D. Udeshi, S. Agarwal, E. Maldonado, W.P. Kirk. Solid State Electron. 48, 335 (2004)
- М.Н. Солован, В.В. Брус, П.Д. Марьянчук. ФТП, в печати (2013)
- G.B. Smith, A. Ben-David, P.D. Swift. Renew. Energy 22, 79 (2001)
- F. Vaz, P. Cerqueira, L. Rebouta, S.M.C. Nascimento, E. Alves, Ph. Goudeau, J.P. Riviere, K. Pischow, J. de Rijk. Thin Solid Films 447--448, 449 (2004)
- K.H. Chung, G.T. Liu, J.G. Duh, J.H. Wang. Surf. Coat. Technol. 188--189, 745 (2004)
- W. Franks, I. Schenker, P. Schmutz, A. Hierlemann. IEEE Trans. Biomed. Eng. 52, 1295 (2005)
- Y.L. Jeyachandran, Sa.K. Narayandass, D. Mangalaraj, Sami Areva, J.A. Mielczarski. Mater. Sci. Eng. A 445--446, 223 (2007)
- L. Escobar-Alarcon, E. Camps, M.A. Castro, S. Muhl, J.A. Mejia-Hernandez. Appl. Phys. A 81, 1221 (2005)
- Gaoling Zhao, Tianbo Zhang, Tao Zhang, Jianxun Wang, Gaorong Han. J. Non-Cryst. Solids 354, 1272 (2008)
- Г.В. Самсонов. Нитриды. Наук. думка, Киев (1969). 350 с
- М.Н. Солован, П.Д. Марьянчук, В.В. Брус. Восточно-европейский журн. передовых технологий 6/12, 34 (2012)
- V.V. Brus, M.I. Ilashchuk, Z.D. Kovalyuk, P.D. Maryanchuk, K.S. Ulyanytskiy. Semicond. Sci. Technol. 26, 125 006 (2011)
- V.V. Brus. Solar Energy 86, 1600 (2012).
- J.A. Thornton. J. Vac. Sci. Technol. A 4/6, 3059 (1986)
- A. Trenczek-Zajac, M. Radecka, K. Zakrzewska, A. Brudnik, E. Kusior, S. Bourgeois, M.C. Marco de Lucas, L. Imhoff. J. Power Sources 194, 93 (2009)
- M. Stoehr, C.-S. Shin, I. Petrov, J.E. Greene. J. Appl. Phys. 110, 083 503 (2011)
- W. Moller, R. Kaiser, H. Bilz. Phys. Lett. A 32, 171 (1970)
- C.-S. Shin, D. Gall, N. Hellgren, J. Patscheider, I. Petrov, J.E. Greene. J. Appl. Phys. 93, 6025 (2003)
- C.-S. Shin, S. Rudenja, D. Gall, N. Hellgren, T.-Y. Lee, I. Petrov, J.E. Greene, J. Appl. Phys. 95, 356 (2004)
- М.Н. Солован, П.Д. Марьянчук, В.В. Брус, О.А. Парфенюк. Неорган. материалы 48, 1154 (2012)
- V.V. Brus, M.I. Ilashchuk, Z.D. Kovalyuk, P.D. Maryanchuk. Semicond. Sci. Technol. 27, 055 008 (2012)
- В.В. Брус, М.И. Илащук, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, К.С. Ульяницкий, Б.Н. Грицюк. ФТП 45, 1109 (2011)
- S. Kadelec, J. Musil, J. Vyskocil. Surf. Coat. Technol. 54--55, 287 (1992).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
