Вышедшие номера
Особенности спектров плотности состояний в объеме и на поверхности пленок a-SiC:H(O) и a-Si 1- xC x:H(O), полученных ВЧ распылением
Лигачев В.А.1
1Московский энергетический институт
Поступила в редакцию: 19 мая 1992 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1993 г.

Приведены результаты экспериментальных исследований спектров плотности состояний в объеме и на поверхности двух серий пленок a-SiC:H(O) и a-Si1-xCx:H(O), полученных высокочастотным ионно-плазменным распылением твердых мишеней в атмосфере аргон-водород с соотношением компонентов 7:1. Распределение плотности состояний исследовалось методами постоянного фототока и токов, ограниченных пространственным зарядом, при комнатной температуре. Подтверждены результаты ранее выполненных исследований о присутствии в объеме полученных ВЧ распылением углеродсодержащих пленок пиков плотности состояний, которые лежат на 1.5-1.7 и 1.8-2.2 эВ ниже дна зоны проводимости. Представляется оправданной идентификация пиков с энергией 1.5-1.7 эВ с A-центрами, существование которых постулировано Моригаки и сотрудниками для интерпретации результатов экспериментов по ОДМП в a-Si:H. Обнаружено также присутствие в спектрах плотности состояний весьма узких (порядка 1 мэВ), появление которых связывается с поверхностными эффектами на границе пленка-подложка.