Вышедшие номера
Изучение распыления фосфида, арсенида и антимонида галлия при бомбардировке ионами Ar+ с энергией 2--8 кэВ
Берт Н.А.1, Сошников И.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 апреля 1993 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1993 г.

Проведены экспериментальные исследования распыления фосфида, арсенида и антимонида ионами Ar+ с энергией 2-8 кэВ. Путем сравнительного анализа экспериментальных и расчетных энергетических зависимостей коэффициента распыления определены приведенные энергии поверхностной связи изучаемых материалов. Показано, что угловые зависимости коэффициента распыления в области углов бомбардировки theta<thetamax хорошо описываются моделью Ямамура.