Исследование динамики и механизмов деформирования тонких халькогенидных пленок As(Ge)2Se3 методом наноиндентирования
Биланич В.С.1, Кикемезей С.С.1,2, Ризак И.М.3, Ризак В.М.1
1Ужгородский национальный университет, Ужгород, Украина
2Химический исследовательский центр Венгерской академии наук, Будапешт, Венгрия
3Национальный аэрокосмический университет им. Н.Е. Жуковского "ХАИ", Харьков, Украина
Email: vbilanych@gmail.com
Поступила в редакцию: 5 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.
Исследованы механические свойства тонких пленок As2Se3 и Ge2Se3 методом квазистатического наноиндентирования. Проанализированы механизмы формирования и восстановления отпечатков исследуемых материалов в условиях их локального нагружения. Обнаружено изменение механизмов деформирования халькогенидных пленок при переходе от состава As2Se3 к Ge2Se3. Установлено, что в процессе деформирования пленки As2Se3 под индентором преобладает накопление пластической деформации, а для пленки Ge2Se3 существенным является релаксационный механизм ее деформирования.
- A.M. Andriesh, M. Bertolotti. Physics and applications of non-crystalline semiconductors in optoelectronics. Springer (1997). 481 p
- В.С. Биланич, В.Б. Онищак, И.И. Макауз, В.М. Ризак. ФТТ 52, 1698 (2010)
- Ю.И. Головин. Завод. лаб. Диагностика материалов 75, 37 (2009)
- W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992)
- W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 19, 3 (2004)
- Ю.И. Головин. ФТТ 50, 2113 (2008)
- P.M. Nagy, P. Horvath, D. Aranyi, E. Kalman. Current Appl. Phys. 6, 154 (2006)
- Г.М. Бартенев, Д.С. Сандитов. Релаксационные процессы в стеклообразных системах. Наука, Новосибирск (1986). 240 с
- A.E. Giannakopoulos, S. Suresh. Scripta Mater. 40, 1191 (1999)
- Ю.И. Головин. Завод. лаб. Диагностика материалов 75, 45 (2009)
- T.Y. Tsui, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 14, 292 (1999)
- J.C. Hay, G.M. Pharr. VII MRS Symp. Proc. 505, 65 (1998)
- А. Фельц. Аморфные и стеклообразные неорганические твердые тела. Мир, М. (1986). 551 с
- P. Boolchand, D.G. Georgiev, B. Goodman. J. Opt. Adv. Mater. 3, 703 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.