Вышедшие номера
Анализ поверхности твердого тела по спектрам медленных электронов, возбужденных мягким рентгеновским излучением
Козаков А.Т.1, Колесников В.В.1, Никольский А.В.1, Сахненко В.П.1
1Ростовский-на-Дону государственный университет НИИФ
Поступила в редакцию: 14 июля 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.

Показано, что спектры медленных вторичных электронов, возбужденные мягким рентгеновским излучением, несут информацию о состоянии поверхности твердых тел. Предложена схема их регистрации, при которой спектр разделяется на две компоненты, одна из которых отражает свойства поверхности, а другая - характеристики более глубоко расположенных слоев. Предложена модель формирования спектров медленных электронов, возбужденных мягким рентгеновским излучением, в которой даны оценки величин вкладов различных взаимодействий движущегося электрона с твердым телом и его поверхностью. Приведено выражение для расчета формы спектров вторичных электронов. Предложена модель для интерпретации эффекта раздвоения спектра при приложении разности потенциалов между образцом и камерой образца. Показано хорошее соответствие между рассчитанными на основе модели энергетическими параметрами спектров и экспериментально определенными величинами.