Определение упругих свойств тонких пленок и их изменений с помощью поверхностных акустических волн (ПАВ)
Анисимкин В.И.1, Котелянский И.М.1, Верарди,-=SUP=-1-=/SUP=- П.1, Верона-=SUP=-1-=/SUP=- Э.1
1Институт радиотехники и электроники РАН Москва
Поступила в редакцию: 30 августа 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.
Предложена методика определения с помощью ПАВ плотности, упругих моделей и их изменений при адсорбции молекул газа пленкой. Методика основана на сравнении экспериментально измеренных и аналитически рассчитанных значений групповой скорости и относительных изменений фазовой скорости волны для слоистых структур с исследуемой пленкой и подложками из различных материалов. Методика опробована на примере водородочувствительных пленок палладия. Проведено сравнение упругих свойств палладия в виде тонкой пленки, объемного поликристалла и монокристалла.
- Wohltjen H., Dessy Anal. Chem. 1979. V. 51. P. 1470--1475
- Jelks E.C., Wagers R.S. Proc. IEEE ultrason. Symp. Atlanta. 1983. V. 1. P. 319--323
- Wohltjen H. Sensors and Actuators. 1984. V. 5. P. 307--311
- Hillerbrands B., Baumgart P., Moch R., Guntherodt G., Bechthold P.S. J. Appl. Phys. 1985. V. 58. N 10. P. 3166--3170
- Schuller I.K. Proc. IEEE Ultrason. Symp. San Francisco. 1985. V. 2. P. 1093--1096
- Zhenxing Q., Xiaozhomg Z., Mingzhou Z., Xizhang W. IEEE Trans. Sonics Ultrasonics. 1985. V. 32. N 6. P. 630--635
- Zanoni R., Naselli C., Bell J., Stegeman G.I., Seaton C.T. Phys. Rev. Lett. 1986. V. 57. N 22. P. 2838--2840
- Bassoli L., Nizzoli F., Sandercock J.R. Phys. Rev. B. 1986. V. 34. N 3. P. 1296--1301
- Crean G.M., Golanski A., Oberlin J.C. Appl. Phys. Lett. 1987. V. 50. N 1. P. 74--77
- Crean G.M., Golanski A., Oberlin J.C., Perio A. Appl. Phys. Lett. 1987. V. 51. N 20. P. 1591--1594
- Carlotti G., Petri A., Socino G., Verona E. Appl. Phys. Lett. 1987. V. 51. N 23. P. 1889--1892
- Carlotti G., Petri A., Socino G., Verona E. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Denver. 1987. V. 1. P. 295--298
- Vrean G.M., Somekh M.G., Golanski A., Oberlin J.C. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Denver. 1987. V. 1. P. 243--246
- Zhang S.Y., Hu A., Shen Q., Yuan X.Y., Lu Z.N., Feng D. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Denver. 1987. V. 2. P. 1171--1173
- Анисимкин В.И., Котелянский И.М. ФТТ. 1988. Т. 30. N 3. С. 853--859
- Nizzoli F., Bhadra R., de Lima O.F., Brodsky M.B., Grimsditch M. Phys. Rev. 1988. V. B37. N 2. P. 1007--1011
- Grahn H.T., Maris H.J., Tauc J. Appl. Phys. Lett. 1988. V. 53. N 23. P. 2281--2283
- Bhadra R., Grimsditch M., Schuller I., Nizzoli F. Phys. Rev. B. 1989. V. 39. N 20. P. 12456--12460
- Carlotti G., Socino G., Verona E. J. Appl. Phys. 1989. V. 65. N 3. P. 1370--1374
- Carlotti, Fioretto D., Palmieri L., Socino G., Verdini L., Verona E. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Montreal. 1989. V. 2. P. 1201--1204
- Kushibiki J., Ishikawa T., Chubachi T. Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. N 20. P. 1967--1970
- Nagayawa Y., Okada T. J. Appl. Phys. 1990. V. 68. N 2. P. 556--559
- Grimsdtitch M., Bhadra R., Schuller I.K., Chambers F., Devane G. Phys. Rev. B. 1990. V. 42. N 5. P. 2923--2925
- Hickernell T.S., Fliegel F.M., Hickernell F.S. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Honolulu. 1990. V. 1. P. 445--447
- Makous J.L., Hues S.M. Phys. Rev. B. 1991. V. 44. N 19. P. 10848--10850
- Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M. Proc. Intern. School on Phys. Acoustics. Erice. Italy, 1990. P. 389--403
- Carlotti G., Fioretto D., Giovannini L., Socino G. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Lake Buena Vista. 1991. V. 2. P. 1079--1082
- Ricco A.J., Martin S.J. Thin Solid Films. 1991. V. 206. P. 94--99
- Ruile W., Meir H. Proc. IEEE Ultrason. Symp. Tucson. 1992. (to be published)
- Chrisofides C., Mandelis A. J. Appl. Phys. 1990. V. 68. N 6. P. R1--R29
- Auld B.A., Acoustic Fields and Waves. Wiley, New York, 1973. V. 2. 417 p
- Slobodnik A.J., Jr., Conway E.D., Delmonico R.T. Microwave Acoustic Handbook. Massachusetts, 1973. AFCRL-TR-73-0597. 728 p
- Borchi E., de Gennaro S., Lombardini L., Zolli M. Phys. Status Solidi (a). 1987. V. 104. N 2. P. 667--675
- Hsu D.K., Leisure R.G. Phys. Rev. B. 1979. V. 20. N 3. P. 1339--1341
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.