Визуализация пассивированной в водном растворе Na 2S поверхности скола арсенида галлия с помощью СТМ в атмосферных условиях
Анкудинов А.В.1, Лантратов В.М.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 сентября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.
Представлены результаты СТМ-исследований поверхностей n-GaAs (110), пассивированных в водном растворе Na2S. Показано, что с помощью Na2S пассивации можно подготовить поверхность скола с величиной R app=< 0.1 нм. На СТМ-изображении таким образом подготовленной поверхности ясно видна развитая структура атомных ступеней. При помощи Na2S пассивации были получены устойчивые к окислению поверхности, что дает возможность использовать их для создания с помощью СТМ искусственного нанорельефа на поверхности. Было также показано, что длительная обработка наряду с пассивацией приводит одновременно и к подтравливанию поверхности. При этом на поверхности развивается структура бугорков травления, ориентированных вдоль направления [110] плоскости скола.
- Higashi G.S., Becker R.S., Chabal Y.J., Becker A.J. Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. P. 1656
- Берковец В.Л., Иванцов Л.Ф., Макаренко И.В., Львова Т.В., Хассиева Р.В., Сафонов В.И. ФТП. 1991. Т. 25. N 3. С. 379
- Dagata J.A., Schneir J., Harary H.H., Bennet J., Tseng W. J. Vac. Sci. Tachnol. B. 1991. V. 9. N 2. P. 1384
- Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Schneir J., Harary H.H. Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. N 25. P. 3288
- Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Schneir J., Harary H.H. Ultramicroscopy. 1992. N 42--44. P. 1288
- Richter R., Hartnagel H.L. J. Ekectrochem. Soc. 1991. V. 137. N 9. P. 2879
- Анкудинов А.В., Берковец В.Л., Львова Т.В., Титков А.Н. ФТТ. 1993. Т. 35. N 5. С. 1301
- Moller R., Coenen R., Koslowski B., Rauscher M. Surf. Sci. 1989. V. 217. P. 289
- Dagata J.A., Tseng W., Bennet J., Dobitz E.A., Schneir J., Harary H.H. J. Vac. Sci. Tachnol. A. 1992. V. 10. N 4. P. 2105
- Batterman B.W. J. Appl. Phys. 1957. V. 28. P. 1236
- Irving B.A. The Electrichemistry of Semiconductors / Ed. P.J.Holmes. Acad. Press, Lnt.--N.Y., 1962. Chap. 6. P. 262--289
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.