Влияние давления на диффузию бора, имплантированного в кремний
Окулич В.И.1, Васин А.С.1, Пантелеев В.А.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 ноября 1992 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.
- Nygren E., Aziz M.J., Turnbull D. et al. Impur. Diff. and Gettering Silicon Symp. Boston, Mass., Nov. 27--30, 1984. Pitsburgh (Pa), 1985. P. 101--104
- Antonelli A., Bernholl J. Phys. Rev. B. 1989. V. 40. N 15. P. 10643--10646
- Sugino O., Oshiyama A. Phys. Rev. B. 1992. V. 46. N 19. P. 12335--12339
- Васин А.С., Окулич В.И., Пантелеев В.А. ФТП. 1989. Т. 23. N 3. С. 483--487
- Васин А.С., Окулич В.И., Пантелеев В.А., Кудрявцева Р.В., Куприянов Е.В., Тетельбаум Д.И. Деп. ВИНИТИ. 1990. N 4808-ВДО. 19 с
- Пантелеев В.А. ФТТ. 1979. Т. 21. N 11. С. 3388--3391
- Fair R.B. J. Appl. Phys. 1980. V. 51. N 11. P. 5825--5832
- Hu S.M., Fahej P., Dutton R.W. J. Appl. Phys. 1983. V. 54. N 12. P. 6912--6922
- Nichols C.S., van de Walle, Pantelidis S.T. Phys. Rev. B. 1989. V. 40. N 8. P. 5484--5496
- Vuksevich M.L. Phys. St. Sol. 1970. V. 40. N 1. P. 193--205
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.