Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 1994, выпуск 9 » Статья стр. 2657
<<<>>>
Исследование бестигельного кремния, полученного при большой скорости роста, методом электронной микроскопии высокого разрешения
Сорокин Л.М.1, Пономарева Н.Б.1, Гусева Н.Б.1, Щеглов М.П.1, Хатчисон Дж.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.
PDF версия
Методом электронной микроскопии высокого разрешения, рентгеновской топографии, рентгеновской дифракции и оптической дифракции исследована структура монокристаллов кремния бестигельной зонной плавки (БЗП), полученного при скоростях роста 9-10 mm/min. Обнаружены кристаллические наноразмерные частицы, идентифицированные как фаза gamma-Cu5Si со структурой beta-Mn. Показано, что микродефекты, возникающие в кремнии БЗП, могут быть как кристаллическими, так и аморфными. Выявлены дискообразные неоднородности микроструктуры, являющиеся результатом особенностей кристаллизации (захват фронтом микрокапель расплава) при высоких скоростях роста. Эти неоднородности являются источником локальных разориентаций типа кручения.
  1. Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Шейхет Э.Г. ФТТ. 1987. Т. 29. N 9. С. 2623--2628
  2. Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Таланин И.Е., Малышев К.Л., Шейхет Э.Г., Фалькевич Е.С. ФТТ. 1986. Т. 28. N 6. С. 1829--1833
  3. Ourmazd A., Ahlborn K., Jbeh K., Honda T. Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. P. 685--688
  4. Pirouz P., Chaim R., Dahmen U., Westmacott K.H. Acta Metall. 1990. V. 38. P. 313--322, 323--328, 329--336
  5. Olijnyk H., Sikka S.K., Holzapfel W.B. Phys. Lett. A. 1984. V. 103. P. 137--140
  6. Hu J.Z., Merkle L.D., Menoni C.S., Spain I.L. Phys. Rev. B. 1986. V. 34. P. 4679--4684
  7. Duclos S.J., Vohra Y.K., Ruoff A.L. Phys. Rev. B. 1990. V. 41. P. 12021--12028
  8. Cerva H., Oppolzer H. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1980. V. 183. P. 67--78
  9. Гусева Н.Б., Ситникова А.А., Сорокин Л.М., Трапезникова И.Н., Тучкевич В.М., Шульпина И.Л. ДАН СССР. 1983. Т. 268. N 6. С. 1385--1388
  10. Ueda O., Nauka K., Lagowski J., Gatos H.C. Defects in Semiconductors, Materials Science Forum. 1986. V. 10--12. P. 145--150
  11. Seibt M., Graff K. J. Appl. Phys. 1988. V. 63. P. 4444--4450
  12. Sadamitsu S., Sasaki A., Hourai M., Sumita S., Fujino H. J. Appl. Phys. 1991. V. 30. N 8. P. 1591--1596
  13. Sadamitsu S., Sumita S., Fujino N., Shiraiwa T. J. Appl. Phys. 1988. V. 27. P. L1819--L1821
  14. Sadamitsu S., Sano M., Hourai M., Sumita S., Fujino N., Shiraiwa T. J. Appl. Phys. 1989. V. 28. P. L333--L336
  15. Honda K., Nakanishi T., Ohsawa A., Toyokura N. J. Appl. Phys. 1987. V. 62. P. 1960--1963
  16. Menniger H., Raidt H., Gleichmann R. Phys. Stat. Sol. 1980. V. A58. P. 173--180
  17. Solberg J. K. Acta Cryst. 1978. V. A34. P. 684--698
  18. Das G. J. Appl. Phys. 1973. V. 44. P. 4459--4467
  19. Nes E. J. Appl. Phys. 1972. V. 43. P. 1835--1836
  20. Gottfried C., Schossberger F. Struktur Bericht, 1933--1935, 1937. V. 3. P. 332
  21. Хирш П., Хови А., Николсон Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов / Под ред. Л.М.Утевского. М.: Мир, 1968. 574 с
  22. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция неоднородности / Под ред. В.И.Полежаева. М.: Мир, 1991. 143 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme