Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Некоторые особенности формирования пленок SrTiO₃ и Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ при магнетронном распылении

Гольцман Б.М.¹, Зайцева Н.В.¹, Крецер Ю.Л.¹, Леманов В.В.¹, Шаплыгина Т.А.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 15 июня 1995 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ SrTiO₃ В работе исследовались состав и структура пленок SrTiO₃ и Ba_0.5Sr_0.5TiO₃, полученных ВЧ магнетронным распылением и подвергнутых последующему высокотемпературному отжигу, в зависимости от положения подложки относительно магнетрона. Установлено, что положение подложки влияет на отклонение стехиометрического состава пленок SrTiO₃ с сторону избытка титана либо стронция, на интенсивность диффузии алюминия из подложки в пленку при отжиге, на возможность возникновения вспучивания пленок при отжиге, на тип осевой текстуры пленок . Показано, что отжиг резко усиливает текстуру пленок. Обсуждаются возможные причины наблюдаемых закономерностей.

Томашпольский Ю.Я., Севостьянов М.А., Ратников Г.Е., Федотов А.Ф. Кристаллография \bf 20, \it 1, 194 (1975)
Дудкевич В.П., Фесенко Е.Г. Физика сегнетоэлектрических пленок. Изд-во Ростовского ун-та (1979). С. 190
Вендик О.Г., Ильинский Л.С., Смирнов А.Д., Хижа Г.С. ЖТФ \bf 54, \it 4, 772 (1984)
Surowiak Z., Margolin A.M., Zaharchenko J.N., Biryukov S.V. Thin Solid Films \bf 176, \it 2 227 (1989)
Балашова Е.В., Гольцман Б.М., Ефимова Т.П., Зайцева Н.В., Мосина Г.Н., Сорокин Л.М. ФТТ \bf 35, \it 2, 442 (1993)
Jshinose N., Ogiwara T. Jpn. J. Appl. Phys. \bf32, pt 1, \it 9B, 4115 (1993)
Yamamuchi S., Yabuta H., Sakuma T., Miasaka Y. Appl. Phys. Lett. \bf 64, \it 13, 1644 (1994)
Sundgren J., Johanssen B.O., Karlsson S.E., Hentzell H.T.G. Thin Solid Films 105, \it 4, 367 (1983)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель