Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Электронно-стимулированная десорбция отрицательных ионов O- с окисленной поверхности O/Ru
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: Soloviev@ms.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 25 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.
Исследована электронно-стимулированная десорбция (ЭСД) отрицательных ионов кислорода с поверхности O/Ru, которая является дополнительной причиной разрушения защитного окисного слоя зеркал, используемых в ультрафиолетовой литографии. Определено сечение деградации слоя O/Ru за счет ЭСД ионов O+, O- и атомов O, которое равно 1.6·10-19 cm2. Из сравнения зависимостей выхода ЭСД ионов O+ и O- от энергии облучающих электронов E с сечением ионизации остовного уровня адсорбата sigmaO 2s(E) показано, что основным каналом ЭСД ионов O- является ионизация уровня O 2s.
- T.E. Madey, N.S. Faradzhev, B.V. Yakshinskiy, N.V. Edwards. Appl. Surf. Sci. 253, 1691 (2006)
- A.D. Bass, L. Sanche. Low Temp. Phys. 29, 270 (2003)
- A.D. Bass, L. Sanche. Rad. Phys. Chem. 68, 3 (2003)
- B.V. Yakshinskiy, R. Wasielewski, E. Loginova, M.N. Hedhili, T.E. Madey. Surf. Sci. 602, 3220 (2008)
- А.Х. Аюханов, Э. Турмашев. ЖТФ 47, 6, 1234 (1977)
- M.L. Yu. Phys. Rev. B 19, 5995 (1979)
- J.L. Hock, J.H. Craig, D. Lichtman. Surf. Sci. 85, 161 (1979)
- Z.X. Liu, D. Lichtman. Surf. Sci. 114, 287 (1982)
- S. Solovev, D. Kusmierek, T.E. Madey. J. Chem. Phys. 120, 968 (2004)
- D.O. Kusmierek. In: Graduate department of physics and astronomy Rutgers State Univ. of New Jersey. New Brunsvick, N.Y. (2005). 121 p
- А.А. Радциг, Б.М. Смирнов. Параметры атомов и атомных ионов. Энергоатомиздат, М. (1986). 343 с
- Б.М. Смирнов. Отрицательные ионы. Атомиздат, М. (1978). 176 с
- D. Menzel, R. Gomer. J. Chem. Phys. 41, 3311 (1964)
- R.A. Redhead. Can. J. Phys. 42, 886 (1964)
- V.L. Khotek, P.J. Feibelman. Phys. Rev. Lett. 40, 964 (1978)
- V.L. Khotek, P.J. Feibelman. Surf. Sci. 90, 28 (1981)
- D.P. Woodruff, P.D. Jonson, M.M. Traum, M.M. Farrell, N.V. Smith, B.L. Benlow, Z. Hurich. Surf. Sci. 104, 282 (1981)
- T.E. Madey, R. Stockbauer, J.F. van der Veen, D.E. Eastman. Phys. Rev. Lett. 45, 187 (1981)
- K. Jaeger, J. Stohr, J. Feldhans, S. Brennan, D. Mensel. Phys. Rev. B 23, 2102 (1981)
- E.B. Bertel, R. Stockbauer, R.L. Kurtz, D.E. Ramaker, T.E. Madey. Phys. Rev. B 31, 5580 (1985)
- S. Tanaka, K. Mase, S. Nagaoka. Surf. Sci. 572, 43 (2004)
- F.M. de Groot, M. Gioni, J.C. Fuggl, C.A. Sawatsky, H. Petersen. Phys. Rev. B 40, 5715 (1989)
- E. Zimmermann, R. Steiner, R. Claessen, F. Reinert, S. Huetner, P. Blaha, P. Dufek. J. Phys. C 11, 1657 (1999)
- A. Kotani, Y. Toyozawa. J. Phys. Soc. Jpn. 37, 912 (1974)
- W. Wurth, C. Schneider, R. Treichler, E. Umbach, D. Menzel. Phys. Rev. B 35, 7741 (1987)
- A.M. Lanzillotto, T.E. Madey, R.A. Baragiola. Phys. Rev. Lett. 67, 232 (1991)
- M.L. Knotek, J.E. Houston. J. Vac. Sci. Technol. B 1, 899 (1983)
- M.L. Knotek, R.H. Stulen, G. Labriel, Y. Rehn, R.A. Rosenberg, C.C. Parks. Surf. Sci. 133, 291 (1983)
- M. Petravic. Phys. Rev. B 48, 2627 (1993)
- P.H. Dawson, M.L. Den Boer. Surf. Sci. 122, 588 (1982)
- W. Lotz. Z. Phys. 232, 107 (1970); 206, 205 (1967)
- В.С. Фоменко. Эмиссионные свойства материалов. Наук. думка, Киев (1981). 337 с
- V.N. Ageev, O.P. Burmistrova, B.V. Yalshinskij. Surf. Sci. 194, 101 (1988)
- V.N. Ageev, Yu.A. Kuznetzov, N.D. Potekhina. Surf. Sci. 367, 113 (1994)
- В.Н. Агеев, Ю.А. Кузнецов, Н.Д. Потехина, ФТТ 49, 1514 (2007)
- D.R. Lide. Handbook of Chemistry and Physics. 74th ed. CRC, Boca Raton (1991/1992). F 1
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
