Тонкие сегнетоэлектрические пленки: получение и перспективы интеграции
Сигов А.С.1, Мишина Е.Д.1, Мухортов В.М.2
1Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), Москва, Россия
2Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: mishina_elena57@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 июля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.
Рассматриваются свойства тонких пленок (Ba,Sr)TiO3 и BiFeO3 и наноструктур на их основе. Пленки изготавливаются методом высокочастотного распыления в атмосфере кислорода с повышенным давлением, наноструктуры - методом фокусированного ионного травления; электрическое поле прикладывается в планарной структуре встречно-штыревых электродов. Исследуются структура, диэлектрические, электро-оптические и нелинейно-оптические свойства полученных образцов в широком диапазоне толщин и частот электрического поля. Показана высокая эффективность планарного переключения и его влияния на оптические свойства полученных структур. Наноструктурирование позволяет изменять диэлектрические и оптические свойства исследуемых материалов и таким образом увеличивать диапазон переключения функциональных параметров. Работа поддержана РФФИ (гранты N 09-02-00254, 09-02-01403, 08-02-12031) и Министерством образования и науки РФ (АВЦП проекты N 2.1.1/587, 2.1.2/494).
- В.М. Мухортов, Ю.И. Головко, Г.Н. Толмачёв, А.И. Мащенко. ЖТФ 12, 1235 (2000)
- A. Christ, S.G. Tikhodeev, N.A. Gippius, J. Kuhl, H. Giessen. Phys. Rev. Lett. 91, 183 901 (2003)
- A. Christ, T. Zentgraf, J. Kuhl, S.G. Tikhodeev, N.A. Gippius, H. Giessen. Phys. Rev. B 70, 125 113 (2004)
- E. Mishina, A. Zaitsev, N. Ilyin, N. Sherstyuk, A. Sigov, Yu. Golovko, V. Muhortov, A. Kolesnikov, Yu. Lozovik, M. Yemtsova, Th. Rasing. Appl. Phys. Lett. 91, 041 107 (2007)
- E.D. Mishina, N.E. Sherstyuk, V.I. Stadnichuk, A.S. Sigov, V.M. Mukhortov, Yu.I. Golovko, A. Van Etteger, Th. Rasing. Appl. Phys. Lett. 83, 2402 (2003)
- V. Gopalan, R. Raj. J. Appl. Phys. 81, 866 (1997)
- Е.Д. Мишина, Н.Э. Шерстюк, А.А. Зайцев, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. Изв. РАН. Сер. физ. 71, 10, 1424 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.