Оптимизация режимов термического осаждения в вакууме пленок висмута при контроле их дефектности методом атомно-силовой микроскопии
Грабов В.М.1, Демидов Е.В.1, Комаров В.А.1
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
Email: vmgrabov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
Методами атомно-силовой микроскопии выполнено исследование структуры и дефектов пленок висмута, изготовленных методом термического осаждения в вакууме на подложки из слюды в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки, температуры и продолжительности отжига. Определены условия, при которых в процессе отжига происходит рекристаллизация с ростом размеров кристаллитов, что обеспечивает уменьшение дефектности структуры пленок и повышение подвижности носителей заряда. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (аналитическая ведомственная целевая программа "Развитие научного потенциала высшей школы", грант N 2.1.1/3847).
- В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров. ФТТ 50, 1312 (2008)
- В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров, М.М. Климантов. ФТТ 51, 800 (2009)
- В.А. Комаров, Е.В. Демидов, М.М. Климантов. В сб.: Термоэлектрики и их применения. Докл. XI Межгосударственного семинара. ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН, СПб. (2009). С. 322
- Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Атомиздат, М. (1979), 264 с
- Г.А. Иванов, В.М. Грабов, Т.В. Михайличенко. ФТТ 15, 573 (1973)
- Г.А. Иванов, В.М. Грабов. ФТП 29, 1040 (1995)
- V. Novikov. Grain growth and control of microstructure and texture in polycrystalline materials. CRC, Boca Raton (1997). P. 53
- J. Chang, H. Kim, J. Han, M.H. Jeon, W.Y. Lee. J. Appl. Phys. 98, 023 906 (2005)
- W.E. Thokneycroft. Inorganic chemistry. Antimony and bismuth. Charles Griffin \& Co., Ltd., London (1936). V. VI. Pt V. 249 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.