Кинетика образования вакансионных микропор и междоузельных дислокационных петель в бездислокационных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Классический приватный университет, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 25 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2010 г.
Проведен расчет образования вакансионных микропор и A-микродефектов в соответствии с моделью динамики точечных дефектов при условии отсутствия рекомбинации собственных точечных дефектов при высоких температурах. Предполагается, что такое решение возможно в случае начала процесса преципитации примеси вблизи фронта кристаллизации. Показано, что процесс образования вакансионных микропор носит гомогенный характер, а образование междоузельных дислокационных петель определяется в основном деформационным механизмом.
- В.И. Таланин. Моделирование и свойства дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния. ГУ "ЗИГМУ", Запорожье (2007). 275 с
- V.I. Talanin, I.E. Talanin. In: New research on semiconductors / Ed. T.B. Elliot. Nova Sci. Publ., Inc., N.Y. (2006). P. 31
- V.V. Voronkov. J. Cryst. Growth 59, 625 (1982)
- M.S. Kulkarni. J. Cryst. Growth 303, 438 (2007)
- T. Sinno, R.A. Brown. J. Electrochem. Soc. 146, 2300 (1999)
- E. Dornberger, W. von Ammon, J. Virbulis, B. Hanna, T. Sinno. J. Cryst. Growth 230, 291 (2001)
- K. Nakamura, T. Saishoji, J. Tomioka. J. Cryst. Growth 237- 239, 1678 (2002)
- M.S. Kulkarni, V.V. Voronkov, R. Falster. J. Electrochem. Soc. 151, G 663 (2004)
- M.S. Kulkarni. Ind. Eng. Chem. Res. 44, 6246 (2005)
- V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 91, 5802 (2002)
- T. Sinno, R.A. Brown, W. von Ammon, E. Dornberger. J. Electrochem. Soc. 145, 302 (1998)
- K. Nakamura, T. Saishoji, T. Kubota, T. Iida, Y. Shimanuki, T. Kotooka, J. Tomioka. J. Cryst. Growth 180, 61 (1997)
- Z. Wang, R.A. Brown. J. Cryst. Growth 231, 442 (2001)
- R.A. Brown, Z. Wang, T. Mori. J. Cryst. Growth 225, 97 (2001)
- В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
- V.I. Talanin, I.E. Talanin, A.A. Voronin. Can. J. Phys. 85, 1459 (2007)
- M. Itsumi. J. Cryst. Growth 237- 239, 1773 (2002)
- Y. Yanase, H. Nishihata, T. Ochiai, H. Tsuya. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1, 1 (1998)
- T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda, K. Yoshida, A. Takaoka, S. Nakajima. Jpn. J. Appl. Phys. 37, L 771 (1998)
- В.И. Таланин. Изв. вузов. Материалы электрон. техники 4, 27 (2007)
- T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5695 (1999)
- V.I. Talanin, I.E. Talanin, S.A. Koryagin, M.Yu. Semikina. Semicond. Phys. Quantum Electron. Optoelectron. 9, 77 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук