Кинетика поведения фоточувствительных примесей и дефектов в особо чистом полуизолирующем карбиде кремния
Савченко Д.В.1, Шанина Б.Д.1, Лукин С.Н.1, Калабухова Е.Н.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: katia@i.kiev.ua
Поступила в редакцию: 8 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.
Выполнено экспериментальное и теоретическое исследования кинетики поведения фоточувствительных примесей и дефектов в особо чистом полуизолирующем материале 4H-SiC методом электронного парамагнитного резонанса в присутствии фотовозбуждения и оптической спектроскопии полной проводимости. Решены кинетические уравнения, описывающие процессы рекомбинации, захвата и ионизации неравновесных носителей, динамически связанных с мелкими донорами и акцепторами (азота и бора), а также процессы передачи носителей зарядов с мелкого донора азота на глубокие уровни собственных дефектов. Сопоставление результатов расчета с экспериментальными кривыми временных спадов полной проводимости и интенсивностей сигналов электронного парамагнитного резонанса от азота и бора после прекращения фотовозбуждения показало, что вероятности захвата дырок на ионизированный акцептор и скорость ионизации нейтрального акцептора бора на два порядка больше, чем аналогичные процессы в системе донорных уровней. Для последней решающую роль играют каскадные переходы электронов с уровня на уровень в запрещенной зоне, а также электронно-дырочная рекомбинация. PACS: 72.20.Jv, 76.30.-v
- V.V. Konovalov, M.E. Zvanut, J. van Tol. Phys. Rev. B 68, 012 102 (2003)
- W.E. Carlos, E.R. Glaser, B.V. Shanabrook. Mat. Sci. Forum 457- 460, 457 (2004)
- N.T. Son, B. Magnusson, Z. Zolnai, A. Ellison, E. Janzen. Mat. Sci. Forum 457- 460, 437 (2004)
- N.T. Son, P. Carlsson, B. Magnusson, E. Janzen. Mat. Sci. Forum 556- 557, 465 (2007)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, A. Saxler, W.C. Mitchel, S.R. Smith, J.S. Solomon, A.O. Evwaraye. Phys. Rev. B 64, 235 202 (2001)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, W.C. Mitchel, A. Saxler, R.L. Jones. Physica B 308- 310, 698 (2001)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savcenko, W.C. Mitchel, W.D. Mitchel. Mat. Sci. Forum 457- 460, 501 (2004)
- D.V. Savchenko, S.N. Lukin, E.N. Kalabukhova. Proc. VII Int. Yourth Scientific School "Actual problems of magnetic resonance and application". Kazan (2004). P. 84
- М.К. Шейнкман, А.Я. Шик. ФТП 10, 209 (1976)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, A.A. Sitnikov, W.C. Mitchel, S.R. Smith, S. Greulich-Weber. Mat. Sci. Forum 527- 529, 563 (2006)
- P.J. Macfarlane, M.E. Zvanut. J. Vac. Technol. B 17, 1627 (1999)
- A.O. Evwaraye, S.R. Smith, W.C. Mitchel. J. Appl. Phys. 77, 4477 (1995)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel, S. Greulich-Weber, E. Rauls, U. Gerstmann. Mat. Sci. Forum 527- 529, 559 (2006)
- S. Greulich-Weber, F. Feege, E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, J.-M. Spaeth, F.J. Adrian. Semicond. Sci. Technol. 13, 59 (1998)
- Я.Е. Покровский, О.И. Смирнов, Н.А. Хвальковский. ЖЭТФ 112, 221 (1997)
- H.J. Queisser, D.E. Theodorou. Phys Rev. B 33, 4027 (1986)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel. Physica B 340- 342, 156 (2003)
- E. Sorman, W.M. Chen, N.T. Son, O. Kordina, J.L. Lindstrom, E. Janzen. Proc. 23rd Int. Conf. on the physics of semicond. Berlin (1996). P. 2665
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, D.V. Savchenko, W.C. Mitchel, S. Greulich-Weber, U. Gerstmann, A. Poppl, J. Hoentsch, E. Rauls, Yu. Rozentzveig, E.N. Mokhov, M. Syvajarvi, R. Yakimova. Mat. Sci. Forum 556- 557, 355 (2007)
- S. Greulich-Weber. Phys. Status Solidi A 162, 95 (1997)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.