Анизотропия упругих напряжений и особенности дефектной структуры a-ориентированных эпитаксиальных пленок GaN, выращенных на r-грани сапфира
Кютт Р.Н.1, Щеглов М.П.1, Ратников В.В.1, Николаев А.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 29 сентября 2008 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2009 г.
Проведено рентгенодифракционное исследование структурного состояния эпитаксиальных слоев GaN, выращенных методом MOVPE на r-грани сапфира. На двух- и трехкристальном дифрактометре измерялись межплоскостные расстояния в двух направлениях в плоскости интерфейса (11-20) и перпендикулярно ей, дифракционные пики theta- и theta-2theta-мод сканирования в геометрии Брэгга и Лауэ, а также строились карты распределения интенсивности для асимметричных брэгговских рефлексов в двух азимутальных положениях образца. Полученные данные демонстрируют анизотропию упругой деформации и уширения дифракционной картины параллельно плоскости интерфейса. Слои сжаты в направлении [1-100] и не деформированы в направлении [0001]. Уширение брэгговских рефлексов значительно больше в направлении [1-100] по сравнению с [0001]. На основе построения Вильямсона-Холла для брэгговских и лауэвских отражений показано, что эти уширения не связаны с различной степенью мозаичности, а обусловлены локальными дилатациями и разориентациями вокруг дефектов. На основе анализа полученных данных делаются выводы о дислокационной структуре образцов. Работа выполнена при поддержке РФФИ N 06-02-17307. PACS: 61.05.cp, 61.72.Lk, 61.72.uj, 68.55.ag
- M.D. Craven, F. Wu, A. Chakraborty, B. Imer, U.K. Mishra, S.P. DenBaars, J.S. Speck. Appl. Phys. Lett. 84, 1281 (2004)
- B.A. Haskell, T.J. Baker, M.B. McLaurin, F. Wu, P.T. Fini, S.P. DenBaars, J.S. Speck, S. Nakamura. Appl. Phys. Lett. 86, 111 917 (2005)
- R. Armitage, M. Horita, J. Suda, T. Kimoto. J. Appl. Phys. 101, 033 534 (2007)
- Qian Sun, Soon-Yong Kwon, Z. Ren, T. Onuma, S.F. Chichibu, S. Wang. Appl. Phys. Lett. 92, 051 112 (2008)
- A. Kobayashi, S. Kavano, K. Ueno, J. Ohta, H. Fujioka, H. Amanai, S. Nagao, H. Horie. Appl. Phys. Lett. 91, 191 005 (2007)
- K. Ueno, A. Kobayashi, J. Ohta, H. Fujioka, H. Amanai, S. Nagao, H. Horie. Appl. Phys. Lett. 91, 081 915 (2007)
- H.M. Ng. Appl. Phys. Lett. 80, 4369 (2002)
- M.D. Craven, S.H. Lim, F. Wu, J.S. Speck, S.P. DenBaars. Appl. Phys. Lett. 81, 469 (2002)
- M.D. Craven, P. Waltereit, F. Wu, J.S. Speck, S.P. DenBaars. Jpn. J. Appl. Phys. 42, L 235 (2003)
- Hai Lu, W.J. Schaff, L.F. Eastman, J. Wu, W. Walukiebicz, V. Cimalla, O. Ambacher. Appl. Phys. Lett. 83, 1136 (2003)
- H. Wang, C. Chen, Z. Gong, J. Zhang, M. Gaevski, M. Su, J. Yang, M.A. Khan. Appl. Phys. Lett. 84, 499 (2004)
- X. Ni, O. Ozgur, N. Biyikli, J. Xie, A.A. Baski, H. Morkoc, Z. Liliental-Weber. Appl. Phys. Lett. 89, 262 105 (2006)
- T. Pashkova, R. Kroeger, S. Figge, D. Hommel, V. Darakchieva, B. Monemar, E. Preble, A. Hanser, N.M. Williams, M. Tulor. Appl. Phys. Lett. 89, 051 914 (2006)
- R. Kroeger, T. Pashkova, S. Figge, D. Hommel, A. Rosenauer, B. Monemar. Appl. Phys. Lett. 90, 081 918 (2007)
- C. Roder, S. Einfeldt, S. Figge, T. Pashkova, D. Hommel, P.P. Pashkov, B. Monemar, U. Behn. J. Appl. Phys. 100, 103 511 (2006)
- T. Lei, K.F. Ludwig, T.D. Moustakas. J. Appl. Phys. 74, 4430 (1993)
- V.V. Ratnikov, R.N. Kyutt, T.V. Shubina, T. Pashkova, B. Monemar. J. Phys. D: Appl. Phys. 34, A 30 (2001)
- A.E. Romanov, T.J. Baker, S. Nakamura, J.S. Speck. J. Appl. Phys. 100, 023 522 (2006)
- D.N. Zakharov, Z. Liliental-Weber, B. Wagner, Z.J. Reitmeier, E.A. Preble, R.F. Davis. Phys. Rev. B 71, 235 334 (2005)
- P. Vennegues, Z. Bougrioua. Appl. Phys. Lett. 89, 111 915 (2006)
- V.M. Kaganer, R. Kohler, M. Schmidbauer, R. Opitz, B. Jenichen. Phys. Rev. B 55, 1793 (1997).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.