Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Рентгеновская дифрактометрия и электронная микроскопия слоев пористого Si на разных стадиях окисления на воздухе

Ратников В.В.¹, Сорокин Л.М.¹, Соколов В.И.¹, Калмыков А.Е.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Email: ratnikov@mail.ioffe.ru

Поступила в редакцию: 13 апреля 2009 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2009 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методами рентгеновской многокристальной дифрактометрии и просвечивающей электронной микроскопии проведено систематическое исследование полученных в различных режимах анодного травления слоев пористого кремния при их естественном окислении (старении) на воздухе. Использовалась комбинация измерений на двух- и трехкристальном дифрактометрах симметричных 004 и асимметричных 224 отражений в геометрии Брэгга для получения количественной информации о деформациях и кристаллической решетке слоев. Найдено, что старение пористого кремния характеризуется ростом как макро- и микродеформаций, так и микроразориентацией кристаллических фрагментов, приводящим к постепенному разрушению пористых слоев вплоть до их полной аморфизации. Работа выполнена при поддержке Программы ОФН РАН "Физика новых материалов и структур" и Программы Президиума РАН "Квантовая физика конденсированных сред". PACS: 61.05.C-, 61.43.Gt

A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys. 82, 909 (1997)
Y.-S. Kim, E.C. Zouzounis, Y.-H. Xie. Appl. Phys. Lett. 80, 2287 (2002)
В.В. Ратников. ФТТ 39, 956 (1997)
G.A. Rozgonyi, T.J. Ciesielka. Rev. Sci. Instrum. 44, 1053 (1973)
В.В. Ратников, Р.Н. Кютт, Г.Н. Мосина, М.П. Щеглов. ФТТ 41, 30 (1999)
M.I.J. Beale, N.G. Chew, M.J. Uren, A.G. Cullis, J.D. Benjamin. Appl. Phys. Lett. 46, 86 (1985)
G.G. Stoney. Proc. Roy. Soc. London A 82, 172 (1909)
Д.К. Боуэн, Б.К. Таннер. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография. Наука, СПб (2002). 274 с
W.J. Bartels, W. Nijman. J. Cryst. Growth 44, 518 (1978)
T. Unagami. J. Electrochem. Soc. 144, 1835 (1997)
M. Ohring. The materials science of thin films. Academic, San Diego (1991). 378 p
K. Barla, R. Herino, G. Bomchil, J.C. Pfister. J. Cryst. Growth 68, 727 (1984)
D. Buttard, D. Bellet, G. Dolino. J. Appl. Phys. 79, 8060 (1996)
F. Kozlowski, W. Lang. J. Appl. Phys. 72, 5401 (1992)
A. Halimaoui, Y. Campidelli, A. Larre, D. Bensahel. Phys. Status Solidi B 190, 35 (1995)
H. Noerenberg, G.A. Briggs. Suf. Sci. 430, 154 (1999).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель