Эффект положительного температурного коэффициента сопротивления в тонких пленках на основе легированного титаната бария-стронция
Шут В.Н.1, Кашевич И.Ф.1, Watts B.E.2
1Институт технической акустики НАН Беларуси, Витебск, Беларусь
2Научно-исследовательский центр MASPEC/CNR, Парма, Италия
Email: kashevich@tut.by
Поступила в редакцию: 25 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.
Методом импульсного лазерного осаждения получены тонкие пленки на основе полупроводникового титаната бария-стронция (Ba,Sr)TiO3. Показано, что кристаллическая структура, морфология, электрические свойства тонких пленок (Ba,Sr)TiO3 во многом определялись условиями их распыления. Определены режимы осаждения, позволяющие получать однородные поликристаллические тонкие пленки с составом, соответствующим мишени, и размером зерна свыше 0.1 mum. Такие образцы обладали эффектом положительного температурного коэффициента сопротивления в области фазового перехода. Изменение сопротивления достигало 100%. PACS: 77.55.+f, 73.61.-r
- Полупроводники на основе титаната бария. Энергоиздат, М. (1982). 328 с
- Ceramic materials for electronics/ Ed. Relva C. Buchanan. CRC Press. (2004). 676 p
- W. Heywang. Am. Ceram. Soc. 47, 484 (1964)
- И.П. Раевский, О.П. Прокопало, А.Е. Панич, Е.И. Бондаренко, А.Н. Павлова. Электрическая проводимость и позисторный эффект в оксидах семейства перовскита. СКНЦВШ, Ростов н/Д (2002)
- Y. Sasaki, I. Fujii, T. Matsui, K. Morii. Mater. Lett. 26, 265 (1996)
- S.R. Systsov, V.N. Shut, I.F. Kashevich, A.S. Sedlovsky, B.E. Watts. Proc. Int. Sci. and Techn. Conf. "Thin films and layers structures". Moscow (2002). P. 225
- N. Lemee, C. Debourdieu, G. Delabouglise, J.P. Senateur, F. Laroudie. J. Cryst. Growth 235, 347 (2002)
- Yuichi Sato, Toshiaki Kawamura, Susumu Sato. Electronics and Communications in Jap. Pt II. Elecrtonics 85, 25 (2002)
- И.В. Рожанский. Д.А. Закгейм. ФТП 39, 608 (2005)
- C.M. Cotell, J.S. Horwitz, J.A. Sprague. Mater. Sci. Eng. B 32, 221 (1995)
- C. Champeaux, P. Marchet, A. Catherrinot. Appl. Surf. Sci. 96- 98, 775 (1996)
- Chang Hoi Hur, Kyoung Bo Han, Kyeong Ah Jeon, Sang Yeol Lee. Thin Solid Films 400, 169 (2001)
- Huaping Xu, Hong Zhu, K. Hashimoto, T. Kiyomoto. Vacuum 59, 628 (2000)
- B. Huybrechts, K. Ishizaki, M. Takata. J. Mater. Sci. 30, 2463 (1995)
- Sanjib Saha, S.B. Krupanidhi. Mater. Sci. Eng. B 57, 135 (1999)
- Ю.А. Бойков, Т. Клаесон. ФТТ 43, 323 (2001)
- M.M. Gallego, A.R. West. J. Appl. Phys. 90, 394 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.