Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучены механизмы релаксации эпитаксиальных деформаций в (110) пленках Та-V. Большое несоответствие решеток металлов (f=8.7%) и их сопряжение по низкосимметричной плоскости (110) обусловливают многостадийный процесс релаксации деформаций посредством введения петель вычитания в пленку Та. Несовершенные (с дефектом упаковки) петли с вектором Бюргерса b=1/2 < 100> первоначально зарождаются по плоскостям 110. По мере роста эти петли посредством сдвиговых реакций превращаются в совершенные с b=1/2 <111> или b=<001> с последующей сменой плоскости залегания. Характер сдвиговой реакции и тип образующихся совершенных петель определяются механическими напряжениями в пленке Та.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.